上海张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发NE14单片晶圆清洗设备采购项目重新招标中标结果公告(1)
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项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项***mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发NE**单片晶圆清洗设备采购项目重新招标项目编号：****-************招标范围：*台/套 NE**单片晶圆清洗设备招标机构：******招标人：中国科学院上海高等研究院开标时间：****-**-** **:**公示时间：****-**-** **:** - ****-**-** **:**中标结果公告时间：****-**-** **:**中标人：NAURA？Akrion？Inc制造商：NAURA？Akrion？Inc制造商国家或地区：美国
