北京我市成功研制出国内单炉次容量最大的LED外延制造核心设备MOCVD原...
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日前，北京北方微电子基地设备******、北京工业大******承担的“MOCVD装备研制”项目成功研制的国内单炉次容量最大（可容纳***片*寸衬底）MOCVD原理样机，突破了国际传统的MOCVD设备架构，采用具有完全自主知识产权的反应腔设计，并申请国内外专利**项，构建了核心技术的知识产权战略防御体系。 LED产业链中，**%的利润产生于外延片和芯片制造环节，MOCVD设备是LED外延制造中最核心的设备，占设备总投资的**%，技术难度巨大，工艺复杂，目前主要被德国AIXTRON 公司和美国 VEECO 公司两家垄断。 项目的实施，在北京地区建立了完备的MOCVD装备研发平台及工艺测试平台，并形成了一支高素质的MOCVD设备及工艺研发团队，为MOCVD装备的可持续研发及产业化奠定了基础。 ?
