北京我市国产6英寸区熔硅单晶炉设备研制取得重大突破
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近日,市科委重点支持的高端装备制造企业——北******(******)通过自主研发,成功开发出国产*英寸区熔硅单晶炉设备,并突破国产设备的大尺寸区熔硅单晶制备工艺技术,采用国产设备连续成功拉制出了*英寸区熔硅单晶。区熔硅单晶较直拉硅单晶具有更高纯度,是电力电子器件的关键材料,广泛用于电力整流器、大功率晶闸管、功率集成电路等领域,市场前景巨大。 中国电子专用******开发的区熔硅单晶炉设备进行了技术鉴定,专家认为,采用该国产设备实现*英寸区熔单晶硅棒连续成功拉制,填补了国内空白,打破了国外对*-*英寸区熔硅单晶生产设备的垄断,为推进大尺寸区熔硅单晶设备产业化奠定了坚实基础。