广东关于深港微电子学院原子层沉积系统采购项目的自行采购公告
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关于 深港微电子学院原子层沉积系统采购项目 的自行采购公告双击鼠标自动滚屏 [打印此页] [关闭此页]根据《深圳市人民政府办公厅关于印发政府购买服务的实施意见及两个配套文件的通知》（深府办〔****〕**号）中“信息公开”的相关要求，现将本项目有关情况向社会公告:项目名称： 深港微电子学院原子层沉积系统采购项目公开的信息 服务标准和要求： 一、商务要求序号招标商务要求*投标产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。如为进口产品，必须具有合法的进口手续和途径，在供货时必须提供原产地证明及相关进口资料。不接受贴牌及非正当进货渠道产品。*投标人提供的产品及其有关服务必须符合中华人民共和国的设计和制造生产标准或行业标准。*投标产品是合法注册有效周期内该品牌最新型号的产品，其产品符合国家有关安全规定。不得提供已停产或淘汰的产品，否则将按未响应技术参数要求处理。*中标人无偿提供验收测试报告，所供货的产品必须符合中国电源标准及规范国际接插头，如不符合，中标人必须无偿更换，配齐相关的水电气接插件，并符合上述标准。*★交货期：签订合同后***天内。*交货地点：南方科技大学检测中心洁净室。*★设备免费保修期：设备免费保修*年。保修期内，中标人所提供的系统设备各部件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修。保修期内，必须保证设备**％以上工作日正常工作，同一硬件一个月内连续三次或以上出现同一故障，中标人须无偿更换同一型号全新设备，并承诺系统设备终身维护。在无故障的情况下，每年定期上门对机器进行检测，运行调节，内部清洁等。保修期内，中标人对设备维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。保修期过后，设备维修只收取零配件成本费，不收取人工费、维修费等其他费用。*设备维修响应：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，**小时内响应，**小时内派员上门现场维护，并在**小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。若中标人不能按照上述要求进行维修，导致设备故障维修不及时，且无法提供代用设备的，按维修时间每超过一天赔偿合同总金额的*.*%（最高处罚不超过合同总金额的*%）或按实际损失赔偿。情节严重者，招标人将诉诸法律程序。*验收要求：设备配置完整符合合同要求，性能指标达到：*.应腔室的本底真空度:＜*×**-* Torr，要求真空泵启动后* min之内达到腔体本底真空；*. * 英寸硅片表面沉积** nm AlN，薄膜均匀性需优于±*%； **培训：中标人在设备安装调试完成前交付使用说明书、维修手册、图纸等相关资料。同时承诺免费对招标人进行专业的设备操作、维护、维修培训及指导，直至其完全掌握货物的功能应用及基本故障处理技术。**★付款方式：合同签订且收到发票后支付合同总价的**%为进度款，货到指定地点、安装验收合格后支付**%，余款*%待质保期满，无质量问题且经招标人确认后无息支付。**要求制造商在深圳有售后服务网点，可及时解决售后问题，需提供有效证明文件，如营业执照和办公地点租赁合同。制造商提供售后服务人员相关信息。**要求制造商近三年内的同类型设备销售不少于*台；需提供合同复印件和设备验收报告证明。**国产货物：招标人指定地点交货，投标总价为人民币包干价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及一切不可预见费等，项目结算时不做任何单价或费用的调整。进口货物：CIP招标人指定地点，投标总价为人民币包干价，符合国家科教仪器免税政策的设备应报人民币免税价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前以及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及一切不可预见费等。为规范办理进出口业务，确保货物与进口清关单据保持唯一对应关系，即单单相符、单证相符、单货相符，办理进口代理及相关服务的单位必须为招标人所指定或认可，投标报价包含进口代理费以及发生的其他所有相关费用。汇率风险由中标人承担。二、技术要求*.货物清单序号货物名称数量单位*原子层沉积系统*套*.技术规格序号货物名称技术参数或功能要求*原子层沉积系统*.* 主机要求采用机电一体设计，控制系统，所有前驱物管路和工艺管路需集成于主机中，系统外观整洁；*.*要求最大支持晶圆尺寸：*英寸，向下兼容各类不同尺寸及不规则小片；*.* ★反应腔室内径***mm，腔体内高*mm；真空腔体侧壁要求设计有冷却水管路；载台加热器要求设计于真空腔体以外，工艺时加热器不会被镀膜，最高加热温度可达到***摄氏度；*.* 腔体上开门试设计，CCP等离子体增强模块需集成于腔体上盖上。*.* 要求真空腔室配备进械泵，抽速 *** l/min。*.*要求配备工艺真空计，真空计配备进口自动保护阀门。*.* ★至少配备*路前驱物管路，其中第一路为H*O管路，第二路为AlN管路，第三路为SiNx管路，第四路为一氧化锡管路；要求配备进口高速ALD阀门；*.* ▲要求配备*个进口前驱物钢瓶，钢瓶尺寸要求：直径** mm，高*** mm，钢瓶中需分别填充AlN，SiNx的进口前驱物材料；*.* 前驱物钢瓶要求配备独立的恒温水浴系统；*.* ▲前驱物钢瓶要求兼容加热和水冷，加热罩和水冷罩可任意更换，提供的加热和水冷罩总数*个；*.* ★气体控制面板要求配备*个MFC，其中*个Ar 吹扫用MFC，最大流量范围要求*** sccm；*个Ar载气MFC，最大流量范围要求*** sccm；*个N*工艺气体MFC，最大流量范围要求*** sccm；*个O*工艺气体MFC，最大流量范围要求*** sccm；*个NH*工艺气体MFC，最大流量范围要求*** sccm；*.* 射频功率源用于气体等离子体化，频率**.** MHz；RF功率源功率要求***W；包含自动匹配箱；*.* ▲设备操作工艺由电脑进行控制。控制软件有使用方便的用户界面，便于工艺的监控和调试；具有分级别管理功能；操作电脑可触屏操作；*.*工业计算机和PLC（逻辑控制器）控制系统,系统工艺可运行在手动,半自动和全自动工作方式。设备由计算机程序化控制，操作方便。能进行薄膜工艺过程实时监控；*.*反应腔室的本底真空度:＜*×**-* Torr，要求真空泵启动后* min之内达到腔体本底真空；*.* * 英寸硅片表面沉积** nm AlN，薄膜均匀性需优于±*%；*.* 设备主机部分占地面积小于*.***平方米，高度小于*.***米。*.* 设备总重量小于*** Kg。项目预算金额：*,***,***.**元其他需要公告的内容： 详见招标文件经本单位确认，上述公告信息真实、合规。 单位名称：南方科技大学 地址： 深圳市南山区西丽学苑大道****号联系人： 陈老师联系电话： ****-********传真：****-******** 电子邮箱： ****** 公告日期： **** 年 **月** 日备注：一、根据《深圳市人民政府办公厅关于印发政府购买服务的实施意见及两个配套文件的通知》，《深圳市政府购买服务目录（试行）》所列示的项目，在购买服务实施前，购买主体应在政府采购主管部门指定的网站公告项目名称、服务标准和要求、购买预算等内容，公告时间不少于*个工作日；购买服务结果产生*个工作日内，购买主体应公告征集筛选情况、竞争及评比遴选情况、承接主体、成交金额、服务内容和承诺等信息。但以下项目除外： *.《深圳市政府购买服务负面清单（试行）》所规定的项目； *.涉及国家秘密或商业秘密的项目； *.已经纳入政府采购管理的集中采购项目和自行采购项目（该类项目遵照政府采购有关法律法规和规章的规定进行信息公告）。二、对公告内容如有疑问或异议，由购买主体（采购单位）负责受理并解答。 附件： SUSTech-****-*** 深港微电子学院原子层沉积系统采购项目.doc
