广东深圳深圳清华大学研究院科研设备采购意向公告
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****年度深圳清华大学研究院政府采购意向公开表 单位名称：深圳清华大学研究院 单位：万元 部门名称 预计采购时间 采购需求概况 采购项目预算金额 备注 超滑技术研究所 ****年**月**日 等离子体增强原子层沉积机：*.*镀膜尺寸：兼容*寸及其以下尺寸；*.* 等离子源: 本装置所采用的等离子形成机制为感应耦合式等离子。ICP等离子的产生与维持主要为利用电磁感应所产生的电场，加热等离子电子，以满足游离态反应。而电磁感应所需的时变(交流)磁场，可利用通过金属线圈上的交流电流产生。而金属线圈置于真空介电窗外，并透过流经线圈的RF (**.** MHz)电流，在介电窗内或另一侧产生等离子。*.* 腔体加热功能: 腔壁具加热保温功能，确保腔体表面温度最高可达***℃，将使用PID可程控温控器，可设定多段温度升温，及可数字式温度显示，其控温精准度≦±*oC。*.*基板加热温度：热阻式基板加热器最高温度可达***oC，升温速率≧ **oC /min，过温需小于**oC。*.* 前驱体管路加热: 管路自带加热与保温，*个***℃加热源，加热器将由可程控数字式温度显示温控器（PID）执行调变温度。*.* 冷凝阱（Cold Trap）:*组，材质:SS***，进出口法兰为CF**以上，需有冷却水路，确保水冷温度(**-**℃)。*.**搭配远端遥控监控系统，可即时监控设备状况。 *******.* 公开招标。允许进口产品参与投标。 超滑技术研究所 ****年**月**日 集束型DLC薄膜制程设机 *.中心真空传输模块：*.*腔体用低真空压力计：线性信号输出, 绝对压力值量测范围大气压 to *.*E−* Torr（*.*E−* Pa）, 法兰型式DN ** ISO-KF； *.进出样过渡腔室模块：*.* 基板冷却方式:冷却板接触降温，冷区与热区分离不互相干扰。*.* Pre-Heat加热性能 : IR灯管加热, max.***？C，热均匀性 ±**%(在一大气压下量测*点；[(max-min)/**Avg.] *.预清洁腔体：*.* 预清洁腔体由不锈钢***材质制成，共具两个样品进出开口，其一为手动式上掀开门；其二为***×**mm标准方形传输开口，透过标准矩形方阀链接中心真空传输模块，前述开口均可提供*吋样品传输使用。*.** 等离子产生器：输入额定电压：AC***至***V，输入电压波动范围：AC***？***V，相，频率：单相**/**Hz,输入电容：*.* kVA或更低,输入电流: **A 或更低,漏电流:*mA或更低，频率: **.**MHz,额定功率: ****W（**Ω load）,最大反射功率: ***W,输出阻抗: **Ω, 输入接头: N type 控制范围: 额定功率** to ***％,冷却系统：使用气体冷却。*.** RF电源匹配器:输入频率:**.**MHz,额定功率: **～****W,输入接头: N type,容许输出电压: *.*kVpp 或更低/ *.*kVdc 或更低, 容许输出电流: **A或更低,负载阻抗实部： *.*Ω ≦ R ≦ **.*Ω（仅调节电压和电流范围）,冷却系统：使用气体冷却。 *. DLC沉积腔体模块：*.* 等离子体增强化学气象沉积系统腔体由表面阳极处理铝合金材质制成，尺寸约***mmL×***mmW×***mmH，外方内圆设计，共具二个样品进出开口，其一为手动式上掀开门；其二为***×**mm标准方形传输开口，透过标准矩形方阀链接中心真空传输模块，前述开口均可提供*寸样品传输使用。*.**等离子产生器**：：输入额定电压：AC***至***V，输入电压波动范围：AC***？***V，相，频率：单相**/**Hz,输入电容：*.* kVA或更低,输入电流: **A 或更低,漏电流:*mA或更低，频率: **.**MHz,额定功率: ****W（**Ω load）,最大反射功率: ***W,输出阻抗: **Ω, 输入接头: N type 控制范围: 额定功率** to ***％,冷却系统：使用气体冷却 。*.** RF电源匹配器**:输入频率:**.**MHz,额定功率: **～****W,输入接头: N type,容许输出电压: *.*kVpp 或更低/ *.*kVdc 或更低, 容许输出电流: **A或更低,负载阻抗实部： *.*Ω ≦ R ≦ **.*Ω（仅调节电压和电流范围）,冷却系统：使用气体冷却。*.**上、下电极RF可同步开启，需特殊设计无相互干扰问题，提出具体解决方案。 *******.* 公开招标。允许进口产品参与投标。 超滑技术研究所 ****年**月**日 感应耦合电浆增强溅镀沉积机： *.样品大气取放过渡腔室模块：*.*过渡腔室模块包含下列功能： (*)晶片取放片方式:以*片卡夹式储存盒，单片传送功能； (*)Pre-Heat加热性能:最高可达***？C； (*)需具Pre-clean性能设计； (*)传输系统:传输杆搭配马达控制； *.*等离子产生器：电压单相AC***V, 电流*A, 频率**~**Hz, 输出功率:***W, 频率:**kHz，通讯介面:PLC port/** pin(类比控制)，冷却方式:风冷或水冷； *.感应耦合电浆增强溅镀腔室模块：*.*基板载台包含下列功能： (*)基板载台为单片位置，具有顶针升降模组； (*)自转功能； (*)加热功能，最高温度可达***？C； (*)偏压电源：透过RF或MF电源供应器回路控制； (*)由于ICP电源与基板偏压需同步使用，对于相互干扰问题，厂商提出具体解决方案； *.*溅镀靶:*寸圆靶溅镀枪*组(等离子体密度需达≧*-**W/cm*)，附遮罩；可以兼容*寸靶材；*.*溅镀靶电源:直流脉冲电源供应器,输入端:电压AC***V(单相+接地线), 电流:**A, 频率:**-**Hz, 过电流保护:Breaker；输出端:额定功率:*Kw；通讯介面:PLC(**PIN)/类比控制、监控；*.*反应腔室需设计感应耦合等离子体模块； *.计算机控制模块：*.* 主控制器规格总览： (*) PLC控制系统； (*)监视器：液晶显示器（≥** inch）； (*)输入设备：键盘、鼠标、远程监控平板计算机 (*)电气控制系统：控制系统须保证在电力供应中断时，不会造成严重系统事故或操作人员受伤； (*)备品管控：提供设备免费保修期内必需的备品备件和易损件； (*)显示界面：各压力、状态、基板&参数显示； (*)过渡腔式模组的机械杆传送基板有自动和半自动功能，可以把基板传送到任何一个链接之反应腔室内； (*)可逆物流传送； (*)可捞取log数据进行分析； (**)各系统及模块需有手动/自动定期保压测试功能； (**)工具管控：提供一套完整的维修和操作的专用工具； (**)系统设有各阶层之授权许可，可密码锁定，以防参数被任意修改； (**)经由定时器之使用，耗材使用时间可同步被记錄；系统会依据设定值警示提醒须更换耗材，其他定期维护之项目亦可依此原则进行； ▲*.*配备UPS，使计算机不会因停电而被迫流失数据，或者造成系统的毁损；*.*端遥控监控系统，可即时监控设备状况； *******.* 公开招标。允许进口产品参与投标。 采购单位咨询电话：***********，联系人：阮向明 注：*.本表只反映本部门（含所属预算单位）****年*月*日以后按政府采购项目实施的集中采购目录以内或者集中采购限额标准以上的货物、工程、服务采购项目，不包括以电商采购、预选采购、定点采购、网上竞价等方式实施的小额零星采购和由集中采购机构统一组织的批量集中采购项目等。 *.本次公开的采购意向是本部门政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 *.长期货物、服务类项目可能延续上年合同的，应在备注栏注明。 论证公示不需要显示相关链接
