湖南长沙中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目中标公告
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一、项目编号：采招中心编号：HZ********-****采购代理编号：****-****N*******二、项目名称：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目三、供应商投标情况：供应商 信息名称资格性审查结果符合性审查结果投标报价（元）综合得分推荐排名是否成交候选******审核通过审核通过*********.*********审核通过审核通过*********.***是******审核通过审核通过*********.***是四、中标信息供应商名称：******供应商地址：深圳市光明新区玉塘街道田寮社区同观路泰嘉乐科技工业园**楼****单元中标金额：*******元五、主要标的信息中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目序号项目名称规格型号品牌产地数量/单位单价（元）*主系统掩膜光刻机主机硬件EVG奥地利*套*******软件系统基于Windows控制软件EVG奥地利*套******曝光系统LED紫外光源EVG奥地利*套*******光路光源光学透镜组合EVG奥地利*套*******光强计及探头光强计及光强探头*AI美国*套******对准台晶圆对准台EVG奥地利*套*******顶部物镜转塔转塔支持双物镜模式EVG奥地利*套******顶部对准系统顶部物镜及CCD系统EVG奥地利*套*******底部对准系统底部物镜及CCD系统EVG奥地利*套********掩模版夹具夹持掩模版夹具EVG奥地利*套*******晶圆夹具夹持晶圆夹具EVG奥地利*套*******防震台隔离防震桌面定制中国*套*******真空泵提供系统真空定制中国*台*****六、评审专家名单：朱丽琴（主任评委）、尹俊文、李二平、李旭华、汪炼成（业主评委）监 委：马春德七、公告期限自本公告发布之日起*个工作日。投标供应商如对此公告有异议的，请于此公告发布之日起七个工作日内，以书面形式向采购人、代理机构一次性提出质疑。八、其他补充事宜本次中标公告同时在中国政府采购网（http://***.******.***.cn/）、中南大学校园网（http://***.******.***.edu.cn/）、中南大学采购与招标管理中心（http://***.******.***.cn/）发布。九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。*、采购人信息名 称：中南大学地 址：长沙市麓山南路***号联系人：张老师联系方式：****-*********、招标代理机构信息名 称：******地 址：长沙市雨花区湘府东路***号招标大厦联系人：张女士 王女士联系方式：****-*********、项目联系方式项目申购单位：高等研究中心项目联系人：吴老师联系电话：***********
