上海电感耦合等离子体刻蚀设备、反应离子刻蚀设备国际招标公告(1)
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******受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在中国国际中国建设招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。*、招标条件项目概况:******拟采购电感耦合等离子体刻蚀设备、反应离子刻蚀设备资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:具备招标条件*、招标内容招标项目编号:****-************招标项目名称:电感耦合等离子体刻蚀设备、反应离子刻蚀设备项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注* 电感耦合等离子体刻蚀设备 GaAs LD * 主要用于干法刻蚀砷化镓台面刻蚀
**控制系统：计算机控制系统具备自动操作和手动操作功能，配有不同用户权限级别的设备控制软件，配备SECS/GEM 通讯接口
**工艺腔体具备加热功能：≥***oC，加热区域包括腔体壁、真空管道、阀等；
**样品台具备样品氦气背冷功能，配备独立冷水机，温控范围-**℃至+**℃，温控精度±*℃；
**真空系统刻蚀腔体高真空闸阀：快速开关闸阀，开断时间？*秒，采用VAT的产品；刻蚀腔体极限真空度：？*×**-*Torr, 真空漏率 *.*mTorr/min，刻蚀腔体气压控制模式：upstream和downstream两种模式；
**配置OES终点检测功能；
**采用螺旋管式的ICP 源设计* 电感耦合等离子体刻蚀设备 GaSb DFB * 主要用于干法刻蚀砷化锑台面刻蚀
**控制系统：计算机控制系统具备自动操作和手动操作功能，配有不同用户权限级别的设备控制软件，配备SECS/GEM 通讯接口
**工艺腔体具备加热功能：≥***oC，加热区域包括腔体壁、真空管道、阀等；
**样品台具备样品氦气背冷功能，配备独立冷水机，温控范围-**℃至+**℃，温控精度±*℃；
**真空系统刻蚀腔体高真空闸阀：快速开关闸阀，开断时间？*秒，采用VAT的产品；刻蚀腔体极限真空度：？*×**-*Torr, 真空漏率 *.*mTorr/min，刻蚀腔体气压控制模式：upstream和downstream两种模式；
**配置OES终点检测功能；
**采用螺旋管式的ICP 源设计* 电感耦合等离子体刻蚀设备 InP Grating * 主要用于低温低速干法刻蚀磷化铟光栅和台面
**控制系统：计算机控制系统具备自动操作和手动操作功能，配有不同用户权限级别的设备控制软件，配备SECS/GEM 通讯接口
**工艺腔体具备加热功能：≥***oC，加热区域包括腔体壁、真空管道、阀等；
**样品台固定方式：特殊石墨夹具（可装载*片*寸磷化铟衬底）；具备样品氦气背冷功能；配备独立冷水机，温控范围-**℃至+**℃，温控精度±*℃；
**真空系统刻蚀腔体高真空闸阀：快速开关闸阀，开断时间？*秒，采用VAT的产品；刻蚀腔体极限真空度：？*×**-*Torr, 真空漏率 *.*mTorr/min，刻蚀腔体气压控制模式：upstream和downstream两种模式；
**配置OES终点检测功能；
**采用螺旋管式的ICP 源设计* 电感耦合等离子体刻蚀设备 InP Ridge * 主要用于高温干法刻蚀磷化铟波导
**控制系统：计算机控制系统具备自动操作和手动操作功能，配有不同用户权限级别的设备控制软件，配备SECS/GEM 通讯接口
**工艺腔体具备加热功能：≥***oC，加热区域包括腔体壁、真空管道、阀等；
**样品台固定方式：固定方式：两个夹具（可装载*片*寸或者*片*寸磷化铟衬底）；具备样品氦气背冷功能；配备独立冷水机，温控范围-**℃至+**℃，温控精度±*℃；
**真空系统刻蚀腔体高真空闸阀：快速开关闸阀，开断时间？*秒，采用VAT的产品；刻蚀腔体极限真空度：？*×**-*Torr, 真空漏率 *.*mTorr/min，刻蚀腔体气压控制模式：upstream和downstream两种模式；
**配置OES终点检测功能；
**采用螺旋管式的ICP 源设计* 反应离子刻蚀设备 PP*** RIE * 主要用于介质薄膜如氧化硅，氮化硅刻蚀
**工艺腔体由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率；反应腔预留相应的法兰接口，以备光学观察窗、电容真空计，激光终点监测装置，晶圆送系统，真空系统等的连接。观察窗需配有相应的防护装置
**样品台样品夹具：配备两个定制三明治铝托盘用于装载*寸砷化镓衬底和*寸磷化铟衬底；*、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:*）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；*）投标人或投标货物的制造商须具备此类设备的供货和安装调试经验；*) 法律、行政法规规定的其他条件。*）投标人三年内在从事光电产品生产的中国化合物量产工厂中同类设备销售台数大于等于**台（须提供业绩清单及合同复印件或用户的书面证明）。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以*、招标文件的获取招标文件领购开始时间:****-**-**招标文件领购结束时间:****-**-**是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：上海市长寿路***号恒达广场**楼招标文件售价:￥****/$****、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:****-**-** **:**投标文件送达地点:上海市长寿路***号恒达广场**楼开标地点:上海市长寿路***号恒达广场**楼*、投标人在投标前应在必联网（https://***.******.***）或机电产品招标投标电子交易平台（https://***.******.***）完成注册及信息核验。*、联系方式招标人:******地址:中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路***号B区三楼联系人:吴宗丽联系方式:**-**- ********招标代理机构:******地址:上海市长寿路***号联系人:朱天昊 王鼎联系方式:**-**-******** *********、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):招标代理机构开户银行(美元):账号(人民币):账号(美元):
