北京海淀北航智能微纳公共创新中心反应离子刻蚀机采购公告
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*. 采购货物有关信息*、采购货物相关信息：（*）货物名称：反应离子刻蚀机（*）技术指标：序号货物/服务名称详细参数要求*反应离子刻蚀机*.*硬件要求*. 工艺腔：进口****铝材质。*. 机架：空间优化的整体机架。表面丝印，防腐工艺。*. 电柜：三相五线制，***V，标准电柜。*. 下电极：阳极氧化铝材质，适用于*吋及以下尺寸样品，包括He背冷和水冷系统*. 分子泵：抽速不低于***L/S*. 干泵：抽速不低于**m*/h*. 真空规：最大量程*Torr *. 射频源：进口品牌，频率**.**MHz，功率***W，带自动匹配器*. 气路配置：不少于*路，流量可调，进口MFC品牌，*/* VCR接头、气动隔膜阀、管路。**. 电气控制：配备电气部件、工控机、串口服务器等**. 软件：包含推荐的工艺菜单；工艺自动控制，能够监测水电气、工艺气体流量、射频功率等参数；具有安全互锁功能。*.*工艺要求*. 刻蚀材料：SiO*、SiNx、Si、部分金属*. 刻蚀速率（*吋）：SiO*≥**nm/min，SiNx≥**nm/min，Si≥**nm/min*. 刻蚀均匀性（*吋，EE*，五点极差法）：片内均匀性≤±*%，片间均匀性≤±*%*. 刻蚀陡直度（*吋）：**±*°*. Ta：刻蚀速率≥** nm/min，与光刻胶选择比≥*:*，侧面倾角≥**°，不均匀性≤±*%；提供≤***NM标尺的SEM图片作为证明材料，提供详细刻蚀工艺菜单（至少包括电源功率、气体配置及比例等）。*. Au：刻蚀图案为月牙型结构。提供≤***NM标尺的SEM图片作为证明材料，提供详细刻蚀工艺菜单（至少包括电源功率、气体配置及比例等）。*售后服务售后服务*、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。*、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在*小时内响应，*小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。*、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。*、质保期*年。（*）数量：序号产品数量/单位*反应离子刻蚀机*套（*）交货期：合同签订后**天内（*）交货地点：北京航空航天大学微电子学院（*）是否接受进口产品：否*、采购预算（最高限价）： **.*万*、参选单位资格要求：（*）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；（*）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； ① 具有独立承担民事责任的能力； ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； （*）本项目不接受联合体响应；（*）本项目不允许转包、分包；（*）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；（*）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。*、报名方式及截止时间：报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@***.******.***。截止报名时间：****年 *月**日**时。*、竞价会时间及方式：时间：****年*月**日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。*、参加竞价会所需提供材料：*月**日**:**前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：地址：北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆柳洋 老师收，手机号：************、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：柳洋 老师，邮箱：******.cn*、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：邵老师，******.cn或***-********（上午*点-**:**；下午**:**-**:**）
