关于量子研究院电子束蒸发薄膜沉积系统采购项目的自行采购公告双击鼠标自动滚屏 [打印此页] [关闭此页]根据《深圳市人民政府办公厅关于印发政府购买服务的实施意见及两个配套文件的通知》（深府办〔****〕**号）中“信息公开”的相关要求，现将本项目有关情况向社会公告:项目名称： 量子研究院电子束蒸发薄膜沉积系统采购项目公开的信息 服务标准和要求： 一、商务要求序号目录商务需求（一）免费保修期内售后服务要求*维修响应及故障解决时间*.*提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【*】小时内响应，【**】小时内派员上门现场维护，并在【**】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。若中标人不能按照上述要求进行维修，导致设备故障维修不及时，且无法提供代用设备的，按维修时间每超过一天赔偿合同总金额的*.*%（最高处罚不超过合同总金额的*%）或按实际损失赔偿。情节严重者，招标人将诉诸法律程序。保修期内，中标人所提供的系统设备各部件发生非人为故障的，中标人应免费上门维修。保修期内，必须保证设备**％以上工作日正常工作，同一硬件一个月内连续三次或以上出现同一故障，中标人须无偿更换同一型号全新设备，并承诺系统设备终身维护。在无故障的情况下，每年定期上门对机器进行检测，运行调节，内部清洁等。*关于免费保修期★*.*货物免费保修期【*】年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。保修期内，中标人对设备维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。保修期过后，设备维修只收取零配件成本费，不收取人工费、维修费等其他费用。（二）其他商务要求*关于交货*.*交货地点：深圳市福田保税区槟榔道*号国际量子研究院量子输运实验室*.*投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。★*.*签订合同后【***】日内交货。*关于验收*.*投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。*.*当满足以下条件时，招标人才向中标人签发货物验收报告：*）仪器设备运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收, 如卖方届时不派人来, 则验收结果应以买方和当地商检人员的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损, 买方有权要求卖方立即补发和负责更换。 *）卖方应提出仪器设备测试的内容、项目、指标和方法,卖方有责任对买方的技术人员提出的问题作出解答。测试应进行详细记录, 仪器设备测试结束后, 由卖买双方验收并签署验收报告。 *）保修期自最终安装验收合格后开始，保修期内卖方要保修除消耗品以外的所有部件。在保修期内，如果仪器设备发生故障，卖方要调查故障原因并修复直至满足最终验收指标和性能的要求，或者更换整个或部分有缺陷的材料。以上都应是免费的。*.*中标人无偿提供验收测试报告，所供货的产品必须符合中国电源标准及规范国际接插头，如不符合，中标人必须无偿更换，配齐相关的水电气接插件，并符合上述标准。*关于培训*.* 中标人在设备安装调试完成前交付使用说明书、维修手册、图纸等相关资料。同时承诺免费对招标人进行专业的设备操作、维护、维修培训及指导，直至其完全掌握货物的功能应用及基本故障处理技术。*关于付款★*.*合同签订且收到发票后支付合同总价的**%为进度款，货到指定地点、安装验收合格、提供全额发票后支付**%，余款*%待质保期满，无质量问题且经招标人确认后无息支付。*.*国产货物：招标人指定地点交货，投标总价为人民币包干价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及一切不可预见费等，项目结算时不做任何单价或费用的调整。进口货物：CIP招标人指定地点，投标总价为人民币包干价，符合国家科教仪器免税政策的设备应报人民币免税价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前以及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及一切不可预见费等。*.*为规范办理进出口业务，确保货物与进口清关单据保持唯一对应关系，即单单相符、单证相符、单货相符，办理进口代理及相关服务的单位必须为招标人所指定或认可，投标报价包含进口代理费以及发生的其他所有相关费用。汇率风险由中标人承担。*.* 根据国家外汇政策管理要求，进口货物外汇支付须由报关单上的境内收货人即学校所指定或认可的外贸代理单位执行。中标人须在发货前委托前述的外贸代理单位购汇向境外供应商支付货款。*其他*.*投标产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。如为进口产品，必须具有合法的进口手续和途径，在供货时必须提供原产地证明及相关进口资料。不接受贴牌及非正当进货渠道产品。*.*投标人提供的产品及其有关服务必须符合中华人民共和国的设计和制造生产标准或行业标准。*.*投标产品是合法注册有效周期内该品牌最新型号的产品，其产品符合国家有关安全规定。不得提供已停产或淘汰的产品，否则将按未响应技术参数要求处理。*.*投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。★*.*要求投标人提供相同型号设备对样品加工测试的相关报告。投标人出具的样品加工测试结果报告需由买方签字认可，且投标时需出具该测试报告原件或复印件（由高等院校或科研所此类机构），否则视为无效投标文件。注：样片加工和测试报告的具体内容如下：*) 在旋转的*英寸硅片上，镀***nm或以上的钛膜，要求：镀膜均匀性：≤ ±*% 。*) 在*英寸硅片上（无冷却状态下），镀***nm左右厚钛膜，基片温度不超过***度EndFragment二、技术要求*.货物清单序号货物名称数量单位预算金额（元）备注*电子束蒸发薄膜沉积系统*套*,***,***.**接受进口EndFragment*.技术规格序号货物名称技术参数或功能要求*电子束蒸发薄膜沉积系统*.薄膜沉积腔室▲*.* D型全不锈钢腔体，胶圈密封前开门带观察窗和挡板及内部可更换的玻璃，门尺寸不小于***X***MM,两套不锈钢腔体内衬▲*.*高真空泵为冷凝泵，具有自动再生功能，抽速不小于****升/秒，配气动插板阀*.*抽速≥**升/秒的无油干泵★*.*镀膜室极限真空度≤*E-*托，腔体暴露大气后抽至*.*E-*Torr的时间: ≤**分种，基片通过预真空室装样后，镀膜室恢复原真空度时间：≤**分钟*.*测量范围从大气到*E-**托的宽量程真空计*.*独立的气动充气系统，计算机控制，安全互锁▲*.*一套电子束蒸发源，有*个坩埚穴，每个穴位大小为**CC，自动坩埚导位，不低于*KW固态电源和可编程束斑扫描器。★*.*镀膜基片台可装载一个标准的*英寸基片，也可装载小尺寸基片，基片可液氮冷却至零下**度，并可连续自转，*-**rpm转速可调；基片可通过预真空室自动送样取样，配气动样品挡板，计算机控制开闭。★*.*成膜均匀性：在旋转的*英寸范围内≤+/-*%，（***nm以上钛膜除去*毫米边缘），测量方法：基片半径取*个点，每个点测三次取平均值；计算公式：均匀性计算公式：(最大值-最小值）/(*X平均值）X***%，适合LIFT OFF镀膜工艺▲*.**晶振膜厚仪一套，并和基片挡板及蒸发电源形成闭环控制联动，可精确控制镀膜速率和厚度。膜厚显示分辨率：*.*埃，速率显示分辨率：*.**埃/秒▲*.**PLC和工控电脑控制*.LOAD LOCK腔室*）*.*不锈钢腔体，内外电解抛光处理*.*不锈钢腔体，内外电解抛光处理*.*独立分子泵，抽速≥***升/秒，真空度≤*E-*托*.*不锈钢气动插板阀*.*宽量程真空计，测量范围：大气到*E-**托▲*.*自动送样装置*.*镀膜室和送样室隔离插板阀(不锈钢气动)*.*配离子源，对基片预清洗*.*一路氧气配流量计，可对基片进行氧化*.*配手套箱(满足惰性气体及密闭性要求)EndFragmentEndFragment项目预算金额：*,***,***.**元EndFragment其他需要公告的内容： 详见招标文件经本单位确认，上述公告信息真实、合规。 单位名称：南方科技大学地址： 深圳市南山区西丽学苑大道****号联系人： 陈老师联系电话： ****-********传真：****-********电子邮箱： ******.cn公告日期： **** 年*月**日EndFragment备注：一、根据《深圳市人民政府办公厅关于印发政府购买服务的实施意见及两个配套文件的通知》，《深圳市政府购买服务目录（试行）》所列示的项目，在购买服务实施前，购买主体应在政府采购主管部门指定的网站公告项目名称、服务标准和要求、购买预算等内容，公告时间不少于*个工作日；购买服务结果产生*个工作日内，购买主体应公告征集筛选情况、竞争及评比遴选情况、承接主体、成交金额、服务内容和承诺等信息。但以下项目除外：*.《深圳市政府购买服务负面清单（试行）》所规定的项目；*.涉及国家秘密或商业秘密的项目；*.已经纳入政府采购管理的集中采购项目和自行采购项目（该类项目遵照政府采购有关法律法规和规章的规定进行信息公告）。二、对公告内容如有疑问或异议，由购买主体（采购单位）负责受理并解答。 附件： SUSTech-****-*** 量子研究院电子束蒸发薄膜沉积系统采购项目.doc