( 全自动涂胶机 )需求公示项目名称全自动涂胶机是否预选项目否采购人名称深圳先进电子材料国际创新研究院采购方式公开招标财政预算限额（元）*******项目背景全自动涂胶机用于晶圆级再布线与凸点工艺，能够支持晶圆直径为***mm与***mm的晶圆作业，*个独立腔体，每个腔体至少配有*个光刻胶管路。投标人资质要求(*)符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求” ； (*)在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体； (*)投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动； (*)本项目不接受联合体投标； (*)参与本项目投标前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（由供应商在《投标人具备投标资格的证明文件》中作出声明）； (*)参与本项目政府采购活动时不存在被有关部门禁止参与政府采购活动且在有效期内的情况（由供应商在《投标人具备投标资格的证明文件》中作出声明） (*)投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商（由供应商在《投标人具备投标资格的证明文件》中作出声明）。货物清单序号采购计划编号货物名称 数量单位备注财政预算限额(元)*************全自动涂胶机*.*套*******.*具体技术要求配置清单及零配件（包括专用工具）：序号名称单位数量一晶圆传输模组套≥**Load port套≥**晶圆对准系统套≥**晶圆传送机械手臂套≥**高精度真空晶圆载台套≥*****mm的晶圆适配器套≥*****mm的晶圆适配器套≥*二主机工艺系统 *涂胶腔体个≥**胶泵个≥**高温热板个≥**普通热板个≥**冷板个≥**光刻胶背洗系统套≥**光刻胶去边系统套≥**光刻胶预湿系统套≥**清洗液供应罐个≥***动力系统 套≥***软件系统 套≥*二辅助工具*机台手册套≥**维修工具套≥*技术性能指标表编号招标技术指标名称招标技术指标值*应用范围和要求全自动涂胶机用于晶圆级再布线与凸点工艺，能够支持晶圆直径为***mm与***mm的晶圆作业，*个独立腔体，每个腔体至少配有*个光刻胶管路。*性能指标**、支持晶圆直径为***mm与***mm的晶圆自动上下料**、支持多种材质的晶圆，如玻璃载片，硅片，塑封片**、支持*个涂胶腔体，且每个腔体可作业不同类型的光刻胶**、每个腔体中至少有*路管路，胶泵支持的光刻胶粘度最大为*****cp，最小粘度为**cp#*、支持晶圆翘曲至少为±*mm#*、支持晶圆厚度至少为***-****um#*、具备腔体清洗功能和胶路清洗功能#*、要求有高温热板、热板和冷板热板温度均匀性要求：**-***℃ ±*.**℃；***-***℃ ±*.*℃；高温热板均匀性要求：**-***℃ ±*.**℃***.*-***℃ ±*.*℃***.*-***℃ ±*%#*、工作台的旋转速度最大不低于****rpm(空载)**、具备背洗、预湿、去边功能**、具备多任务管理，不同圆片可采用不同的参数**、温度、转速等工艺参数有监控功能*调试培训服务*.至少一次现场免费培训*.满足**小时热线服务*其他要求*.系统使用说明书及培训文档*.订单确认后*个月内需要提供设备的安装条件商务需求一、售后服务要求：*)投标方需为本项目配备足够的售后服务力量，具有国内本地化的服务团队。*)投标方售后服务响应时间：电话响应时间要求*小时内，到场响应时间要求*个工作日内（指从接到报障至到达故障现场的时间）。*)投标方免费提供技术支持热线电话。*)投标方免费提供email技术支持，并且在**小时内回复。*)提供仪器设备的免费保修期至少一年（保修期内免费维修并更换除消耗品以外的零部件，维修人员的路费、食宿等自理）。*)投标方提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器说明书，并指导在使用该设备时的操作注意事项等。*）投标方提供配套软件至少一年的免费升级服务。二、培训要求：*)为保证投标方所提供的仪器设备安全、可靠运行，便于招标方的运行维护，必须对招标方培训合格的维护和管理人员。*)投标方负责对招标方提供至少一次现场技术培训，以便工作人员在培训后能熟练地掌握系统的维护工作，并能及时排除大部分的系统障碍。三、包装要求：应使用崭新坚固的包装（标准包装），适合于空运、或陆运等长途运输方式；适合气候变化；投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、费用增长等后果负责。四、交货日期：合同签订后的**周内交货；五、到货口岸及交货地点：深圳口岸/深圳先进电子材料国际创新研究院六、验收标准：*)仪器设备运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收, 如卖方届时不派人来, 则验收结果应以买方和当地商检人员的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损, 买方有权要求卖方立即补发和负责更换。 *)卖方应提出仪器设备测试的内容、项目、指标和方法,卖方有责任对买方的技术人员提出的问题作出解答。测试应进行详细记录, 仪器设备测试结束后, 由卖方技术人员签字后交给买方验收。 *)保修期自最终安装验收合格后开始，保修期内卖方要保修除消耗品以外的所有部件。在保修期内，如果仪器设备发生故障，卖方要调查故障原因并修复直至满足最终验收指标和性能的要求，或者更换整个或部分有缺陷的材料。以上都应是免费的。 七、对仪器设备生产厂家要求：*)厂家应具备一定规模的科研、生产、技术支持及售后服务能力。*)厂家在国内设有技术支持中心及维修中心 。八、其他：*）是否接受进口设备参与投标：是*）进口产品报人民币免税价，国产产品报人民币含税价。*）免税报价为全包价，需包含外贸代理服务费及可能产生的惩罚性关税等所有费用。*）付款方式：**%合同签订后支付，**%发货前支付，**%货到安装并验收合格后支付。*）如投标产品为进口产品，需提供原厂授权书，并在签订合同时提供原厂签署的技术文件。技术规格偏离表序号货物名称招标技术要求投标技术响应偏离情况说明商务规格偏离表序号目录招标商务条款投标商务条款偏离情况说明（一）免费保修期内售后服务条款偏离表**……（一）免费保修期外售后服务条款偏离表**……（三）其他商务条款偏离表**……评标信息评标方法：综合评分法（新价格分算法）综合评分法，是指投标文件满足招标文件全部实质性要求，且按照评审因素的量化指标评审得分最高的投标人为中标候选人的评标方法。 价格分计算方法：采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格分统一按照下列公式计算： 投标报价得分=(评标基准价／投标报价)×*** 评标总得分＝F*×A*＋F*×A*＋……＋Fn×An F*、F*……Fn分别为各项评审因素的得分； A*、A*、……An 分别为各项评审因素所占的权重(A*＋A*＋……＋An＝*)。 评标过程中，不得去掉报价中的最高报价和最低报价。 此方法适用于货物类、服务类、工程类项目。 序号评分项权重(%)*价格***商务部分*序号评分因素权重(%)评分准则*同类项目业绩*投标人的相关业绩（每提供一个在投标截止日起近*年内在相似产品项目合同案例加**分，最高不超过***分，案例以提供的合同为准，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页复印件作为证明）*商务需求响应情况*商务条款应答有负偏离得*分，商务条款应答无偏离得**分，有正偏离得***分*技术部分**序号评分因素权重(%)评分准则*技术参数响应情况**（*）技术指标评审基准分为***分，评委可根据技术指标的正负偏离情况进行评分； （*）标记为“*”的指标是关键技术条款，正偏离不加分，如不满足其投标予以拒绝； （*）标记为“#”的指标是重要技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减X分负偏离超过X条（含）本项不得分； （*）无标记的指标是一般技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减X分，负偏离超过X条（含）本项不得分；（*）凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。 注：投标人对标记为星号（“*”）的关键技术条款必须在投标文件中提供技术支持资料。技术支持资料以制造商公开发布的印刷资料或检测机构出具的检测报告为准，凡不提供技术支持资料的，视为不满足招标文件要求，其投标予以拒绝。*售后服务方案、应急方案*售后服务方案、应急方案。投标人对本项目的售后服务方案和应急方案，包括但不限于维修响应时间、质保期承诺、安装调试验收安排、突发事件的处理措施、应急预案等进行综合评价： (*)售后服务方案完善，针对本项目提出合理、可行的服务方案，突发事件的处理措施和应急预案非常详细切合实际得***分； (*)售后服务方案较完善，针对本项目突发事件的处理措施和应急预案较详细较切合实际得**分； (*)售后服务方案不够完善，针对本项目突发事件的处理措施和应急预案不够详细，不够切合实际得**分； （*）未提供方案或提供了但是完全脱离实际，*分。*培训方案*培训方案，包括具体培训计划、具体安排、时间规划、培训内容及培训效果评价、培训质量保证等进行综合评价： (*)方案全面、具体，可行性强得***分； (*)方案比较全面、具体，可行性较强得**分； (*)方案不全面，不具体，可行性一般得**分； （*）方案或提供了但是完全脱离实际，*分。*投标产品配置的合理性*投标产品配置的合理性，根据投标产品的配置方案、可选配件、易耗品等配置情况进行评分： （*）配置方案、解决方案完善，可选配件、易耗品配置齐全，符合使用需求得***分； （*）配置方案、解决方案较完善，可选配件、易耗品配置较齐全，基本符合使用需求得**分； （*）配置方案、解决方案不够完善，可选配件、易耗品配置不够齐全，不能符合使用需求得**分；*其他部分*序号评分因素权重(%)评分准则*节能环保*投标人所投产品获得相关节能、环保产品认证情况： （*）节能产品：投标产品属于财政部和国家发改委最新公布的节能产品政府采购品目清单的，需提供市场监管总局发布参与实施政府采购节能产品、环境标志产品认证机构出具的认证证书复印件并加盖公章，且在有效截止日期内，得**分；否则*分。 （*）环境标志产品：投标产品属于财政部和生态环境部最新公布的环境标志产品政府采购品目清单的，投标人需提供市场监管总局发布参与实施政府采购节能产品、环境标志产品认证机构出具的认证证书复印件并加盖公章，且在有效截止日期内，得**分；否则*分。其它附件论证公示不需要显示相关链接 *：采购需求公示期限为**小时（公休日、节假日时间不计算在内）。在公示期内，供应商如需要对采购需求提出意见或建议的，可登录深圳公共资源交易网（http://***.******.***/），在“采购申报→提出需求疑问”功能点填写意见或建议，由采购人进行回复。*：采购需求不等同于正式发布的采购文件，对采购需求提出意见或建议不属于对采购文件质疑。