自动匀胶显影仪
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（一）采购内容：自动匀胶显影仪（*台）（二）技术指标要求 *）适用基片尺寸：*/*吋晶圆，自动，至少带两套*/*吋cassette; *）配备*匀胶单元，*显影单元，*HMDS，*热板，*冷板，单手或双手机械臂； *）两路正胶：AZ****和AZP***(**CP)，AZ****型光刻胶成膜厚度为*-**μm； *）热板加热温度**±*℃，***±*.*℃，高温不低于***±*.*℃； *）匀胶转速：*-****rpm，加速度：*-*****rpm/s； *）带FFU净化； *）软件功能完善，可后续更新。（三）联系方式 采购联系人：柳志刚；工作电话：****-******* 该项目采取线下对接响应，其他具体要求请来电咨询项目联系人。竞价中国建设招标网址请到：http://***.******.***.cn/cggg/jggg/*******************.shtml
