山东Parylene真空气相沉积镀膜机（GY202201055）采购公告
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打印公告 Parylene真空气相沉积镀膜机（GY*********）采购公告 发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：****次 项目名称 Parylene真空气相沉积镀膜机 项目编号 GY********* 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 晶体材料研究所 付款方式 预付**%， 设备验收后付剩下**% 联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 成交后*个工作日内 到货时间要求 **天 预算总价 ￥ ******.** + NaN + NaN 发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 山东大学 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 公告说明 采购清单* 采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 Parylene真空气相沉积镀膜机 * 台 机电设备 无 无 品牌 品牌* 派珂 型号 VPC-*** 品牌* 型号 品牌* 型号 预算单价 ￥******.** 技术参数及配置要求 （一）主要技术参数要求*. 用于聚对二甲苯的真空气相沉积系统，可沉积 Parylene C、N、D、F 型材料；*. 程序控制系统：PLC 自动及手动沉积过程控制；*. 独立可设置的蒸发室温度：最高温度≥***℃，偏差＜± *℃；*. 独立可设置的裂解室温度，最高温度≥****℃，偏差≤±*℃；*. 采用世界知名品牌的过程控制器，实现蒸发、裂解温度设定和显示；*. 沉积结束后设备报警；*. 蒸发室及料门同步加热，以保证蒸发室内温度分布均匀；*. 蒸发室装载原料容量≥ ***g；*. 裂解室采用耐高温材料制成，耐用且易于清理；**. 采用有效隔热材料杜绝高温释放出大量的热量；**. 带有旋转料盘、工料架及均匀气流分布的导流板；**. 真空传感器拆卸维护方便，并带加热套，防止 Parylene 在传感器上沉积；**. 采用知名品牌的真空泵，提供真空泵的品牌及型号；**. 抽真空到＜*Pa 时间小于 ** 分钟（冷机开启的情况下）；**. 采用世界知名品牌的真空传感器装置；**. 冷阱为不锈钢结构，采用独立的机械冷机制冷，冷凝器探头可方便取出进行清洁；**. 配备冷凝系统，最低冷凝温度低于-**℃（**℃环境下）；**. 设备加热部件均带有热保险，在控制系统出现故障时可切断加热器，防止部件损害和火灾；**. 设备的高温、低温部位有相应的安全警示标志；**. 功率≤**KW（含冷机）；**. 膜厚仪，能够实时检测蒸镀速率（二）主要配置要求*． 主机 *台*． 真空腔体 *套*． 进口真空泵 *台*． 冷冻机 * 台*． 石英玻璃管 *根（三）质保期大于*年。 参考链接 售后服务 服务网点:不限;质保期限:*年;响应期限:报修后**小时; ****-**-** **:**:** 竞价招标详情请到：https://***.******.***/publish/****/**/**/**L*QGVGPYWXPOJO.shtml
