安徽合肥磁控溅射镀膜机采购结果公告
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中标信息成交供应商：******选择理由：总价最低，推荐成交质疑投诉说明：如有质疑，请在一个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至采购与招标管理办公室 ，逾期不予受理。项目名称磁控溅射镀膜机采购项目编号WUST-JJXM-********项目编号WUST-JJXM-********公告发布日期****/**/** **:**报价截止时间****/**/** **:**报价截止时间****/**/** **:**采购单位武汉科技大学付款条款货到验收合格后一次性支付全款付款条款货到验收合格后一次性支付全款联系人中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看是否本地化服务否是否需要踏勘否是否需要踏勘否踏勘联系人踏勘联系电话踏勘联系电话踏勘地点踏勘联系时间踏勘联系时间采购预算￥***,***.**成交金额￥***,***.**成交金额￥***,***.**送货/施工/服务期限合同生效之日起**日内 送货/施工/服务地址武汉市青山区武汉科技大学信息科学与工程学院采购清单*采购内容是否进口计量单位采购数量售后服务分项报价磁控溅射镀膜机否***.*、在设备到达目的地后，投标人派工程师到用户处免费进行设备的安装、调试。
***.******.***、负责镀膜系统的现场安装和调试；
***.******.***、提供设备的操作培训；
***.******.***、提供设备的常见问题处理培训；
***.******.***、提供有关镀膜工艺培训，有专业的镀膜工艺人员现场提供培训，并提供设备试机时的金属靶材。
*.*保修：合同设备安装后，设备保修期为验收合格后*年。
*.*合同设备出现故障时，投标人确保及时维修，并确保在接到用户方服务要求的*小时内作出回应。
电话指导不能排除的故障，工程师可在*个工作日内到现场进行维修服务，仅收取材料成本费。￥***,***.**参考品牌及型号不限定品牌型号技术参数要求*.真空系统及溅射真空室组件
*.* 真空系统：*L机械泵+KYKY FF-***/***C分子泵,配备超高真空主阀+全自动节流阀；
*.*真空室尺寸约*** mm ×*** mm× *** mm，U型结构，正面开门结构，可烘烤*** ~ *** 度，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰。
*、磁控溅射靶组件至少*套
*.*、靶材尺寸：*英寸；
*.*、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷；
*.*、气动控制挡板组件：*套；
*.*、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染；
*.*、倾斜向上溅射时，靶与样品距离** ~ *** mm可调并有调位距离指示。当直接向上溅射时，靶与样品距离** ~ ** mm可调，并有调位距离指示。
*、单基片加热旋转台，基片通过加热丝加热方式，由热电偶闭环反馈控制，可控可调，精度±* oC；温度均匀性在衬底上的偏差约≤ *%；
*、窗口及法兰接口部件
*.*、直径大于***玻璃窗口：*块；
*.*、陶瓷封接引线法兰：*个（内烘烤引线）；
*、工作气路（溅射室）
*.*、*** SCCM、** SCCM质量流量控制器、进气截止阀、混气室、管路等：
*、离子源 配备一套离子源，用于辅助溅射。
*、安装机台架组件
型材框架，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；
*、真空测量及电控系统
*.*、电源机柜：*台（含供电电源，有断电保护功能）；
*.*、控制电源：*台（为机械泵、电磁阀、升降电机等提供电源）；
*.*、冷却水循环系统，制冷功率大于*P；水流报警系统：*套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断电源等相应功能）；
*.*、溅射室样品加热控温电源：*套（日本产控温表，可实现程序控温）；
*.*、电机控制电源：*套；
*.*、靶挡板电源：*套；
*.*、加热烘烤及照明电源：*套；
*.*、宽量程数显真空计：*套；测量范围：*.* × *** Pa ~ *.* × **-* Pa。
*.*、*** SCCM、** SCCM质量流量控制器：*套；
*.**、分子泵控制电源：*套；
*.**、*** W射频电源：*套（配自动匹配器）；
*.**、*** W直流电源：*套；
*、控制系统
配备触摸屏自动控制，可实现全自动镀膜，提供ITO、AZO、氧化镍、氮化钛镀膜工艺；
