安徽合肥合肥国家实验室反应离子刻蚀机采购项目单一来源采购公示
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合肥国家实验室反应离子刻蚀机采购项目单一来源采购公示
一、项目信息
采购人：合肥国家实验室
项目名称：合肥国家实验室反应离子刻蚀机采购项目
拟采购的货物或服务的说明：合肥国家实验室拟购置一台反应离子刻蚀机
拟采购的货物或服务的预算金额：*******.**人民币
采用单一来源采购方式的原因及说明：本项目对超导单光子探测器性能要求达到极限指标，对几个纳米厚度几个毫米长度的纳米线的性能有严苛要求，需要纳米线具有非常高的均匀性和一致性，因此对刻蚀工艺要求苛刻。此外，按照项目研究计划，将进一步研制超导纳米线单光子阵列探测器芯片，随着阵列规模的增加，对大面积纳米线薄膜刻蚀工艺的稳定性、均匀性及重复性要求更加严苛；目前的刻蚀机已经无法满足极限器件制备的要求，有必要采购一台反应离子刻蚀机，用于NbN等超导材料的刻蚀。机台具体技术指标如下： *.铝材反应室，内径不小于***mm，反应室盖子气体驱动自动开关； *.平行板式电极，电极间距**mm，下电极尺寸不小于***mm，可处理*英寸及*英寸以下的样品； *.反应室进气方式：上盖喷头（showerhead）进气；四角对称型垂直向下排气，*”口径闸板阀，自动压力控制；进气和排气为完全对称式设计； *.样品基座冷却水冷却，设备内冷却水管带防冷凝套管；设备配水冷机； *.配置**.**MHz射频（RF）电源，功率不小于***W；自动匹配，在正常稳定工艺条件下反射功率小于*W； *.*路工艺气体：SF*，CF*，CHF*，O*，Ar；配置MFC，控制精度*%的全量程；所有工艺气体管道采用SUS***L管道，VCR接头； *.反应室配置薄膜真空计和全量程真空计，薄膜真空计最大量程不小于***Pa； *.反应室配置涡轮分子泵（***L/sec）和干泵（***L/min），极限真空****-*Pa; *.设备使用分子泵、干泵、闸板阀、MFC都必须为全球知名品牌； **.设备占地面积要尽量小，集成气体控制箱，使用触摸屏操作； **.设备需配置充分的自动检测和报警系统，包括冷却水流量检测、冷却水漏水检测、CDA压力检测等，设备阀门、真空泵、RF等需要防误操作的安全互锁；配EMO按钮； **.刻蚀*”SiO*样品：刻蚀速度**nm/min；片内均匀性≤±*%（除边*mm）；
刻蚀超薄超导薄膜是制备超导单光子探测器的关键工艺，经过多次调研和反复对比，目前只有日本Samco公司的反应离子刻蚀机系统可以满足超导纳米线精细刻蚀的要求，刻蚀得到的纳米线边沿陡直，均匀性好，特别适合大面积的NbN超导纳米线的刻蚀，目前其他同类设备均无法实现高质量大面积超导纳米线的精细刻蚀。因此申请采用******采购一台RIE-**NR刻蚀机系统。
二、拟定供应商信息
名称：日本Samco Inc.
地址：** Waraya-cho, Takeda, Fushimi-ku, Kyoto ***-**** Japan
三、公示期限
公示期限：*个工作日（****年*月**日-****年*月**日）；任何供应商、单位或个人对本采购项目有异议的，可以在公示期内以书面形式向安******反映。
四、联系方式
*.采购人：合肥国家实验室
联 系 人：赵鑫
联系地址：合肥市蜀山区望江西路****号
联系电话：****-********
邮箱：******
*.采购代理机构：安******
联 系 人：刘志凌、张文奇
联系地址：安徽省合肥市包河大道***号
联系电话：****-********、********、***********
五、附件
*.专家论证意见附件：专家论证意见.zip
