广东广州半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目
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采购状态?б?采购计划信息申报计划月份：****年**月份计划编号：JH*********申报部门：集成电路学院填表人：***填表时间：****-**-**采购项目信息采购项目(品目)名称：低压化学气相沉积系统等设备采购采购类型：招标采购预算：**,***,***.**元采购方式：公开招标(政府采购)联系人：***联系电话：***备注：招标设备 招标设备信息招标设备信息设备名称类别单价(元)数量需求时间逻辑分析仪实验室设备*****.***套****-**-**集成电路测试系统实验室设备*******.***套****-**-**多路数据采集仪实验室设备*****.***套****-**-**第三代半导体器件功率循环测试系统实验室设备******.***套****-**-**SiC器件动态试验系统实验室设备*******.***套****-**-**GaN器件寿命试验系统实验室设备*******.***套****-**-**功率电源实验室设备*****.****套****-**-**实时频谱分析仪实验室设备*****.***套****-**-**单面对准光刻系统实验室设备******.***套****-**-**微纳光电器件制备系统实验室设备*******.***套****-**-**纳米压印系统实验室设备*******.***套****-**-**湿法刻蚀与清洗系统实验室设备******.***套****-**-**磁控溅射镀膜系统实验室设备******.***套****-**-**低压化学气相沉积系统实验室设备*******.***套****-**-**等离子体增强化学气相沉积系统实验室设备*******.***套****-**-**反应离子刻蚀系统实验室设备******.***套****-**-**光学显微镜实验室设备******.***台****-**-**高真空电子束蒸发系统实验室设备*******.***套****-**-**高精度拉伸测试仪实验室设备******.***台****-**-**等离子去胶系统实验室设备******.***套****-**-**等离子体增强化学气相沉积系统实验室设备*******.***套****-**-**单片清洗系统实验室设备*******.***套****-**-**感应耦合等离子刻蚀系统实验室设备*******.***套****-**-**深硅刻蚀系统实验室设备*******.***套****-**-**采购(招标)委托委托编号：WT**********经费项目名称：中央贴息贷款（学科）,经费来源：发展规划处,支出科目代码：******,设备用途：科研委托经办人：***联系电话：***方案附件：***招标项目信息半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目项目招标编号：GDUTBC********招标采购申请时间：****-**-**招标采购方式：公开招标(政府采购)总预算（元）：**,***,***.**招标代理机构：******收到初稿时间：****-**-**招标文件审核时间：****-**-**招标公告时间：****-**-**开标时间：****-**-**子包*：深硅刻蚀系统等设备招标执行信息：*委托申请*招标采购申请*招标文件制作*招标文件审核*招标公告*招标结果公告*中标通知*已签合同*已供货**已验收**已付款预算（元）：**,***,***.**招标结果：招标成功招标结果时间：****-**-**投标供应商：******
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******中标供应商：******中标金额（元）：********.**中标联系人：郑昶中标联系人手机：***********收到中标通知书时间：****-**-**合同号：***签合同时间：***货期（天）：***预付款（元）：****应到货时间：***应验收时间：***应付款时间：***上传合同文件：***供货时间：***验收时间：***付款时间：***付款金额（元）：****备注：子包*：高真空电子束蒸发系统等设备招标执行信息：*委托申请*招标采购申请*招标文件制作*招标文件审核*招标公告*招标结果公告*中标通知*已签合同*已供货**已验收**已付款预算（元）：*,***,***.**招标结果：招标成功招标结果时间：****-**-**投标供应商：******
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