江西江西师范大学2023年6至7月政府采购意向20230616005
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江西师范大学****年*至*月政府采购意向***********为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将 江西师范大学 ****年*至* 月采购意向公开如下:采购项目名称采购需求概况预算金额(元)预计采购时间备注磁控溅射镀膜系统磁控溅射镀膜系统(本设备包含工艺技术(要求是在***x***mm方形高透玻璃上(衬底一般是超薄PET或者PEN,透光率在**.*%以上)制备的ITO导电薄膜指标可达:方阻≤** hm/ ;透光率≥**%))*. 设备主要技术指标
*.* 腔体尺寸: Φ***mmxH***mm 方形卧式结构;采用优质 *** 不锈钢材质制作,外部焊接水冷线;内外表面电化学抛光处理。
*.* 极限真空度:≤*.*x**-* Pa;
*.* 系统漏率: *x**-*Pa.l/s;
*.* 静态升压:系统停泵关机**小时后, 真空度≤*Pa
*.* 系统充干燥 N*解除真空, 短时暴露大气后抽气至 *x**-*Pa≤**min。
*.* 磁控靶配置:带角度调节Φ**mm 磁控靶 *只,角度调节精度: *°,溅射距离调节范围: *-**cm。
*.* 工位数与样品数量:Φ*英寸样品 * 片或***mm x ***mm样品*片。
*.*支持DXF 图形导入和图形编辑。
*.*支持测试报告生成和用户分类管理。
*.**支持多极微网连接
*.** 溅射不均匀性≤±*%(Φ*英寸范围内)******.*****年**月本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。江西师范大学****年**月**日