北京海淀北航集成电路科学与工程学院磁控溅射系统采购公告
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*. 采购货物有关信息
设备或材料名称：磁控溅射系统
参数：序号货物/服务名称详细参数要求磁控溅射系统核心指标：*、真空度优于****-* mbar(经烘烤除气后)；*、样品台最高加热温度：***℃；*、腔体设计可最多可安装*个两英寸阴极；*、样品尺寸兼容*英寸以下。详细参数要求见下表：*定制高真空镀膜腔体? 柱状腔体，顶盖法兰为CF***，材质为***L 不锈钢，符合高真空要求的不同尺寸法兰口，按照图纸生产； ? 除顶部法兰外全部采用NWCF 标准，内表面抛光，外表面拉丝或者喷砂,；? 经过等离子表面处理及高温烘烤处理，满足高真空要求；? 所有焊接口符合高真空要求；? 顶部法兰采用双胶圈密封，配备顶部法兰气动打开装置，方便更换靶材；? 极限真空优于****-*mbar（烘烤后）*真空泵组? 中科科仪分子泵，FF-***/***，对N*气 ***L/s抽速, CF***法兰接口；数量*个? Edwards **i无油涡旋机械泵，** m*/h 抽速；数量*个? 角阀及抽气管路，实现抽气的自动控制，抽气互锁等功能；数量*个*真空测量? 全量程复合真空计 l 数量： *个；l 品牌：普发，PBR***l 接口：DN**CFl 测量范围：*x**-*mbar至 *x*** mbar；描述： 内置皮拉尼规与离子规，自动切换真空显示，充气时自动保护离子规，排气时自动打开离子规；? 高精度电容薄膜真空计 l 数量： *个；l 品牌： inficon；l 型号： CDG***D；l 接口类型： DN**CF；l 测量范围： *x**-* mbar至 *.* x**-* mbar，与闸板阀共同实现气压的精确控制*样品台? 配备Z-R旋转升降模块，可以实现样品的抓取与旋转，旋转速率可调。? 配备PBN加热样品台，加热器最高温度可达***摄氏度，可在氧气气体氛围内加热。配套温控器和温控电源实现温度的控制；? 推荐温度范围：室温到 ***℃，控温精度±*℃；? 带主挡板（Main Shutter）；? 样品台兼容 * 英寸以下样? 可加偏压：-***V，可实现对样品的清洗，改善样品的致密性等参数，配置真空馈入装置。 ? 配备马达，实现***度可调速度的旋转，配合倾斜溅射改善均匀性。? PC端友好控制软件，可自动实现对样品台的控制。*直流电源? 型号：德国ADL GS**/***? ***V电压，***W功率? 配备通信接口，方便与电脑或PLC通信? 数量：*个*控制系统? 配备多路PLC与PC通信，自动控制泵组启停，实现硬件互锁，保证系统稳定运行。? 数量*套*安装调试实施及售后服务? 安装调试：在仪器到达前*~*个月，中标人应通知用户水、电、气及其他仪器必备辅助设施的具体要求，从而让用户提前做好仪器安装准备。中标人应在收到用户通知后*周内派遣制造商的技术人员前往用户指定地点进行安装调试。中标人负责系统包装、运输及保险。? 培训服务：必须由制造商资深工程师对用户操作人员进行全面系统的培训，包括设备基本原理、设备安全及注意事项、设备操作、工艺流程、样品制备演示、设备基本维护及远程技术支持演示。? 售后服务：自双方现场验收合格，主机及配套设备保修期*年，保修期内提供全免费保修。? 维修响应时间：对相关的技术故障能在**小时内及时进行响应，并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在*个工作日内仍不能解决问题：供方工程师*个工作日上门检修。? 免费保修期后，中标人提供终身维修及技术服务，保证零配件的供应，零配件价格享有中标价同等折扣；若某些零部件供应商停止生产，中标人有义务协调各方提供替代解决方案。数量：序号产品数量/单位*定制高真空镀膜腔体*套*真空泵组*套*真空测量*套*样品台*套*直流电源*套*控制系统*套*安装调试实施及售后服务*套交货期：合同签订后*个月
交货地点：北京航空航天大学北区第一馆
是否接受进口产品：否
*、采购预算（最高限价）：**.**万元
*、参选单位资格要求：
（*）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（*）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； ① 具有独立承担民事责任的能力； ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； ④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； ⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录； ⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
（*）本项目不接受联合体响应；
（*）本项目不允许转包、分包；
（*）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（*）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
*、报名方式及截止时间：
报名方式：按照以下要求准备报名信息发送至邮箱bhsme@***.******.***。
邮件标题：公司名称+采购项目名称；
邮件内容：需注明公司名称，地址，销售人员全名及联系方式；
附件：法人证书扫描件，法人授权书扫描件（含法人及销售人员身份证扫描件），采购需求中列出的相应资质证明，整理为同一个PDF文件发送。不符合要求者不予接收；
截止报名时间：****年*月**日**时。
*、竞价会时间及方式：
时间：****年*月**日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
*、参加竞价会所需提供材料：
*月**日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章，报价单请单独密封）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆
史老师收，电话：***********
*、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
史老师，邮箱：******
*、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，******.cn或***-********（上午*点-**:**；下午**:**-**:**）
窗体底端
