北京东城北京量子信息科学研究院科研仪器设备电子束曝光机成交公告
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一、项目编号：HCZB****-***（招标文件编号：HCZB****-***） 二、项目名称：科研仪器设备电子束曝光机 三、中标（成交）信息 供应商名称：锐时科技（北京）有限公司供应商地址：北京市东城区北三环东路**号*号楼*层A***房间中标（成交）金额：****.*******（万元）四、主要标的信息 序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) * 锐时科技（北京）有限公司 主机和标准附件 Raith VOYAGER Max *台 ********.** 五、评审专家（单一来源采购人员）名单： 景立刚（自行聘请），吴建清（自行聘请），刘丽。 六、代理服务收费标准及金额： 本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。 本项目代理费总金额：*.******* 万元（人民币） 七、公告期限 自本公告发布之日起*个工作日。 八、其它补充事宜 *.采购方式：单一来源采购*.采用单一来源采购方式的原因及说明：电子束曝光是微纳米加工的核心技术，用于制备纳米器件并在纳米尺度下研究其量子现象，此次拟采购的电子束曝光机须满足以下参数要求：加速电压不低于** kV；图形发生器扫描频率不低于** MHz；最小线宽≤ ** nm；*** μm写场下，拼接精度≤ ** nm，套刻精度≤ ** nm；**** μm写场下，拼接精度≤ *** nm，套刻精度≤ ** nm。根据全球调研，国内无满足上述技术指标的类似产品，能够满足上述指标的厂家有日本的JEOL、Elionix、Crestec和德国的Raith******生产的产品已经对中国实施禁运，无法供货，只有德国Raith能正常供货。锐时科技（北京）有限公司是德国Raith******，是在中国的唯一供货商。综上，申请采用单一来源的采购方式，从锐时科技（北京）有限公司购置所需的*套电子束曝光机。*.成交日期：****年*月**日*.项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。*.名称、数量、简要技术需求如下： 序号 货物名称 数量 简要技术需求 * ▲电子束曝光机 *套 ◆*、采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于** kV。 …… （详见单一来源采购文件第五章） 注： 标注“▲”的，允许提供进口产品；未标注允许提供进口产品的，如供应商所响应货物为进口产品，其响应文件按无效响应处理。 本项目共*个包，供应商只可投完整包，不允许将一包中的内容拆开进行响应。*.合同履行期限：收到预付款后**个月内且出口文件获批后*个月内完成供货，以后到为准。*.服务要求：详见单一来源采购文件。*.本公告在中国政府采购网发布。*.由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。 九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。 *.采购人信息 名 称：北京量子信息科学研究院 地址：北京市海淀区西北旺东路**号院西区*号楼 联系方式：***-******** 转 **** *.采购代理机构信息 名 称：****** 地 址：北京市西城区宣武门外大街**号庄胜广场中央办公楼北翼**层 联系方式：于曼，*********** *.项目联系方式 项目联系人：于曼 电 话： ***********
