北京西城北京量子信息科学研究院科研仪器设备离子束溅射沉积设备单一来源采购公示
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一、项目信息采购人:北京量子信息科学研究院项目名称:科研仪器设备离子束溅射沉积设备拟采购的货物或者服务的说明:离子束溅射沉积设备*套拟采购的货物或服务的预算金额:****.******* 万元(人民币)采用单一来源采购方式的原因及说明:北京量子信息科学研究院正在开展激光器、单光子源等低维半导体器件的研制,需要在Si、InP、GaAs材料制作的激光器、探测器器件的腔面上生长Al*O*、SiO*、TiO*等高质量薄膜。急需购买*套可实现膜层厚度均匀性波动不超过±*.*%,折射率控制精度≤±*.**的离子束溅射沉积设备。经全球调研,目前生产离子束溅射沉积设备主要厂商为英国牛津和美国Veeco。Veeco生产的离子束溅射沉积设备已经被美国政府禁止出口到中国相关单位,无法供货。英国牛津生产的离子束溅射沉积设备Ionfab ***受专利(专利号:EP*********** ********)保护,其腔室设计、样品的夹持系统、离子源设计(三层栅网的考夫曼结构)、在线监控系统均在专利保护范围内,均匀性波动可达到±*.*%、折射率控制精度可达到≤±*.**,满足需求。综上,英国牛津是目前唯一可以提供满足本次采购要求的设备厂家,而苏******是英国牛津在大陆的唯一授权代理,特此申请单一来源采购方式,通过苏******购买所需的离子束溅射沉积设备。二、拟定供应商信息名称:苏******地址:中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星湖街***号C**楼***-*单元三、公示期限****年**月**日 至 ****年**月**日 四、其他补充事宜:专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见附件。由于系统原因,其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的,以附件为准。本公示在中国政府采购网发布。五、联系方式 *.采购人 联系人:北京量子信息科学研究院 地址:北京市海淀区西北旺东路**号院西区*号楼 联系方式:***-******** 转 **** *.财政部门 联系人:北京市财政局采购处 联系地址:北京市通州区承安路*号 联系电话:***-******** *.采购代理机构信息 名 称:****** 地 址:北京市西城区宣武门外大街**号庄胜广场中央办公楼北翼**层 联系方式:于曼,***********