北京西城北京量子信息科学研究院科研仪器设备双角度蒸发系统单一来源采购公示
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一、项目信息采购人：北京量子信息科学研究院项目名称：科研仪器设备双角度蒸发系统拟采购的货物或者服务的说明：双角度蒸发系统*套拟采购的货物或服务的预算金额：***.****** 万元（人民币）采用单一来源采购方式的原因及说明:北京量子信息科学研究院计划采购*套双角度蒸发系统支持研发量子计算芯片。具体需求：样品尺寸不小于*英寸，进样室极限真空优于*x**-* Torr，中转腔极限真空优于*x**-* Torr，沉积室极限真空优于*x**-* Torr，氧化室极限真空优于*x**-**Torr，电子枪功率≥ * kW且沉积均匀性优于*%，膜厚仪闭环控制，全自动进样及工艺控制，适用双倾角工艺。经全球调研，目前市面上只有Adnanotek Corporation生产的双角度蒸发系统拥有独有专利技术，可实现在双角度下的样品均匀性达到*%，是唯一能实现这个指标的机型，******是厂家在中国大陆独家代理，因此特申请单一来源方式采购所需的双角度蒸发系统。二、拟定供应商信息名称：******地址：安徽省合肥市高新区创新大道****号瀚海创谷创业园***室三、公示期限****年**月**日 至 ****年**月**日 四、其他补充事宜：专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见附件。由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。本公示在中国政府采购网发布。五、联系方式 *.采购人 联系人：北京量子信息科学研究院 地址：北京市海淀区西北旺东路**号院西区*号楼 联系方式：***-******** 转 **** *.财政部门 联系人：北京市财政局采购处 联系地址：北京市通州区承安路*号 联系电话：***-******** *.采购代理机构信息 名 称：****** 地 址：北京市西城区宣武门外大街**号庄胜广场中央办公楼北翼**层 联系方式：于曼，***********
