北京西城北京量子信息科学研究院科研仪器设备氟化氢蒸汽刻蚀机系统成交结果公告
查看隐藏内容（*）需先登录
一、项目编号：HCZB****-***（招标文件编号：HCZB****-***） 二、项目名称：科研仪器设备氟化氢蒸汽刻蚀机系统 三、中标（成交）信息 供应商名称：北******供应商地址：北京市丰台区科学城星火路**号*幢*层***室中标（成交）金额：***.*******（万元）四、主要标的信息 序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) * 北****** 主机和标准附件 SPTS Single wafer PrimaxxuEtch System *套 *******.** 五、评审专家（单一来源采购人员）名单： 孟伟（自行聘请），杨先伟（自行聘请），王文彦。 六、代理服务收费标准及金额： 本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。 本项目代理费总金额：*.****** 万元（人民币） 七、公告期限 自本公告发布之日起*个工作日。 八、其它补充事宜 *.采购方式：单一来源采购*.采用单一来源采购方式的原因及说明：北京量子信息科学研究院本次拟采购的*套氟化氢蒸汽刻蚀机系统用于在量子芯片制备工艺中，需要去除器件中二氧化硅牺牲层来释放微结构，使器件处于悬空状态。要求系统以无水气相氟化氢为刻蚀气体，气态乙醇作为载气，刻蚀速率在** nm/min至*** nm/min范围内，刻蚀均匀性，片内均匀性波动≤ ±**%，片间重复性≤ ±**%，可兼容最大直径*** mm圆片和小片。经全球调研，英国厂家SPTS公司拥有自主知识产权（US*******B*）的无水氟化氢气相刻蚀工艺，以无水乙醇为催化剂，真正做到无水刻蚀。一方面体现出对硅衬底，金属以及低应力氮化硅等都有非常好的选择性，因为在水汽作用下，金属等其他材料也会被氢氟酸所腐蚀；另一方面在没有水汽的环境中，刻蚀释放的器件不会出现由于液态张力而与衬底表面的粘附性失效。综上所述，英国SPTS是市场上唯一能生产出以实现氟化氢干法、无水释放二氧化硅牺牲层的刻蚀机厂家。北******是厂家授权在大陆唯一代理供货商，因此申请单一来源方式采购所需的氟化氢蒸汽刻蚀机系统。*.成交日期：****年**月**日*.项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。*.名称、数量、简要技术需求如下： 序号 货物名称 数量 简要技术需求 * ▲氟化氢蒸汽刻蚀机系统 *套 …… ◆*. 使用纯气态氢氟酸作为刻蚀气体，干法刻蚀二氧化硅牺牲层； …… （详见单一来源采购文件第五章） 注： 标注“▲”的，允许提供进口产品；未标注允许提供进口产品的，如供应商所响应产品为进口产品，其响应文件按无效响应处理。 本项目共*个包，供应商只可投完整包，不允许将一包中的内容拆开进行响应。*.合同履行期限：合同签订后**个月内完成供货（免税产品为外贸合同签订后）。*.服务要求：详见单一来源采购文件。*.本公告在中国政府采购网发布。*.由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。 九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。 *.采购人信息 名 称：北京量子信息科学研究院 地址：北京市海淀区西北旺东路**号院西区*号楼 联系方式：***-******** 转 **** *.采购代理机构信息 名 称：****** 地 址：北京市西城区宣武门外大街**号庄胜广场中央办公楼北翼**层 联系方式：于曼，*********** *.项目联系方式 项目联系人：于曼 电 话： ***********
