山西太原紫外光刻机采购结果公告
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中标信息成交供应商：******选择理由：满足项目要求，总价最低。质疑投诉说明：如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至招标与采购中心，逾期不予受理。项目名称紫外光刻机采购项目编号TYLGJJCG****-****项目编号TYLGJJCG****-****公告发布日期****/**/** **:**报价截止时间****/**/** **:**报价截止时间****/**/** **:**采购单位太原理工大学付款条款货到验收合格后,一次性支付全款。付款条款货到验收合格后,一次性支付全款。联系人中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看是否本地化服务否是否需要踏勘否是否需要踏勘否踏勘联系人踏勘联系电话踏勘联系电话踏勘地点踏勘联系时间踏勘联系时间采购预算￥***,***.**成交金额￥***,***.**成交金额￥***,***.**送货/施工/服务期限合同生效之日起**日内 送货/施工/服务地址山西省晋中市榆次区大学街***号太原理工大学明向校区采购清单*采购内容是否进口计量单位采购数量售后服务分项报价紫外光刻机否套*免费上门安装调试培训，免费配套服务期*年。免费配套服务期内出现质量问题厂家负责维修和更换，以及光刻机的安装和调试，都由供应商负责。￥***,***.**品牌及型号飞诚光电（FC-**S型）魔技纳米科技（MN-UV-Smart(Standard)）技术参数要求*.曝光面积：*英寸
*.曝光波长：***nm
*.★分辨力：*.* μm-*μm
*.★掩模样片整体工件台运动范围：X：**mm;Y:**mm
*.掩模尺寸： *英寸,向下兼容
*.样片尺寸：*英寸，向下兼容，支持碎片
*.厚度可适应*.*mm--*mm(最大可扩展为**mm)
*.曝光方式：定时（倒计时方式）
*.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种**.功能
**.调平接触压力通过传感器保证重复
**.数字设定对准间隙和曝光间隙
**.掩模相对于样片运动行程：
**.X: ±*mm; Y: ±*mm; q: ±*o
**.★最大焦厚：*** μm（SU*胶，用户提供检测条件）
**.光源平行性：*.* o
**.曝光能量密度：**mW/cm*
**.单层曝光一键完成
**.采用球气浮自动找平
**.照明不均匀性：±*.*%（ Φ***mm范围）；
**.曝光光源：紫外LED；
**. 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。
