北京反应离子刻蚀机采购结果公告
查看隐藏内容（*）需先登录
中标信息成交供应商：北京******选择理由：价格最低，推荐成交质疑投诉说明：如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至招标与采购中心，逾期不予受理。项目名称反应离子刻蚀机采购项目编号TYLGJJCG****-****项目编号TYLGJJCG****-****公告发布日期****/**/** **:**报价截止时间****/**/** **:**报价截止时间****/**/** **:**采购单位太原理工大学付款条款货到验收合格后一次性支付全款付款条款货到验收合格后一次性支付全款联系人中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看是否本地化服务否是否需要踏勘否是否需要踏勘否踏勘联系人踏勘联系电话踏勘联系电话踏勘地点踏勘联系时间踏勘联系时间采购预算￥***,***.**成交金额￥***,***.**成交金额￥***,***.**送货/施工/服务期限合同生效之日起*日内 送货/施工/服务地址山西省晋中市榆次区乌金山镇大学街***号太原理工大学明向校区采购清单*采购内容是否进口计量单位采购数量售后服务分项报价反应离子刻蚀机否台*提供*年免费配套服务，免费配套服务期自验收合格之日起算。在免费配套服务期内，设备出现非人为因素导致的故障，乙方免费更换、维修、维护，乙方应在**小时内对甲方用户的服务要求作出相应，一般问题在**小时内解决。乙方免费向甲方用户提供验收之后*年的仪器软件升级和优惠提供与之相关的硬件升级。￥***,***.**品牌及型号芯微诺达（RIE-***）泰龙电子（RIE-***）技术参数要求*. ★样片尺寸：*英寸样品及以下
*. 反应腔室：****铝材一体化加工，表面阳极氧化处理
*. 压力控制：电动插板阀，位置控制
*. 真空系统：分子泵，机械泵组成，分子泵抽速≥***L/s，机械泵抽速≥**m*/h
*. 本底真空：优于*x**-*Pa
*. ★真空测量：防腐工艺规（进口），大气压力开关（进口）
*. 温控系统：循环水冷
*. 气路系统：配置*路进气
*. 电源系统：***W射频电源
**. ★控制系统：Windows系统，软件控制系统：工控机+数据采集板卡控制，非PLC控制；免费升级，带有用户单位风格的定制化软件（包含用户单位图标图标，自动化操作界面，维护管理界面，工艺日志及操作日志查询，多级用户设置等），工控机配置：内存≥*G，硬盘≥***G固态硬盘
**. ★工艺导入：工艺参数可以通过移动存储介质导入，实现参数随工艺人员走，保证工艺的保密性
**. ★文件查询：支持Log文件查询，包括工艺日志、操作日志等。
**. ★软件更新：厂家需开放设备流程配置文件，支持自由修改例如匀气时间、控压时间、起辉稳定延时时间等参数的代码文件，配置文件采用config格式
**. 安全控制：异常报警
**. 刻蚀材料：硅基材料等适用性工艺
