山东济南山东大学干法刻蚀设备单一来源公告
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山东大学对干法刻蚀设备项目以单一来源方式进行采购。一、项目基本情况：*、项目编号：SDJXHD********-Z****、项目名称：干法刻蚀设备*、项目预算：****万元人民币。二、公示内容(详细说明购置理由及单一来源采购理由)：拟购买的干法刻蚀设备是碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体材料的专用刻蚀设备，能够实现碳化硅半导体的高精度、高选择比、特殊形貌结构刻蚀。该设备的引入有助于突破碳化硅功率芯片的量产关键技术，建立起实训和创新基地，促进相关学科建设和人才培养。经用户调研，SPTS公司拥有碳化硅衬底刻蚀的多项独家专利，能够完成低表面缺陷的碳化硅刻蚀和无微沟槽的碳化硅垂直沟道刻蚀，大幅度提高制备的碳化硅功率芯片的耐压指标，提高生产良率。SPTS公司的干法刻蚀设备在微结构控制方面领先于同类设备，其他厂商的同类设备无法满足碳化硅芯片微结构刻蚀的要求。拟购买的干法刻蚀设备，拥有腔内污染颗粒监测、流量调节、衬底形变监控等发明专利，能够对刻蚀腔内部氛围进行实时探测并做出及时调整，确保刻蚀精度和均一性，提升芯片制备的良率。苏******为本项目指定代理商。因此采用单一来源方式采购。三、拟定唯一供应商名称：苏******四、资格要求：*.具有本项目生产、制造、供应或实施能力，符合、承认并承诺履行本文件各项规定的供应商均可参加投标。*.遵守有关的国家法律、法规和条例，具备《中华人民共和国政府采购法》和本文件中规定的条件：*)具有独立承担民事责任的能力；*)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；*)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；*)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；*)参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；*.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；*.本次采购不接受联合体报价。五、获取采购文件：登录山东大学采购网（http://***.******.***.edu.cn/）进行供应商注册，注册完成我中心审核通过后，再次登录系统在线提交获取采购文件申请，审核成功后自助下载采购文件。六、开标时间：****年**月**日*点**分。七、投标流程：本项目采用电子招投标方式采购。投标供应商必须按相关程序办理数字证书和安装投标文件工具后方可上传递交投标响应文件。详细操作说明见山东大学采购网（***.******.***.edu.cn）--资料下载--山东大学电子投标指南文件。八、发布公告媒介本次采购公告在中国政府采购网和山东大学采购网上发布。九、公告时间：自本公告发布之日起五个工作日。十、联系方式采购人：山东大学采购机构：山东大学招标采购管理中心 通讯地址：山东省济南市山大南路**号山东大学招标采购管理中心邮政编码： ******联系电话： ****--******** 山东大学招标采购管理中心 ****年**月*日
