天津【天津日报】津企完成高纯溴化氢国产替代并将批量供应 国内半导体终端有了可靠原料
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天津日报****年*月**日（第**版）报道：昨天，记者从天津经开区了解到，天津经开区******（以下简称绿菱气体）自主研发生产的高纯溴化氢产品日前通过多家国内知名芯片企业认证，即将批量供应。这标志着绿菱气体成功完成高纯溴化氢国产替代，将为国内半导体终端用户提供可靠的原料支持。高纯溴化氢是芯片先进制造过程中的核心气体之一。****年之前，国内高纯溴化氢市场长期被进口产品垄断。绿菱气体凭借多年研发经验，在位于天津经开区南港工业区的新工厂成功实现了高纯溴化氢的批量生产，年产量可达***吨。目前，绿菱气体自主研发生产的高纯溴化氢已通过长江存储、中芯国际、华虹宏力等国内知名芯片企业认证，并实现稳定供应。另有多家国内知名晶圆厂正在对绿菱气体自主研发生产的高纯溴化氢进行验证，预计今年开始批量生产供货。
