上海浦东上海集成电路研发中心有限公司12英寸集成电路前沿互连工艺开发及国产设备、材料评估平台项目环境影响评价第二次公示

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*、说明******受上海******委托,开展对“**英寸集成电路前沿互连工艺开发及国产设备、材料评估平台项目”的环境影响评价。现根据国家及本市法规及规定,向公众进行第二次信息发布。上海******、******对现阶段所发布信息的真实性负责。随着项目实施进程及环评工作的开展,相关信息将完善或调整。*、建设项目概况(*)项目名称:**英寸集成电路前沿互连工艺开发及国产设备、材料评估平台项目。(*)项目地点:上海市浦东新区张江高科技园高斯路***号。(*)项目所属行业:C****-集成电路制造。(*)项目内容:上海******根据国家关于加快集成电路产业发展的有关政策,由上海市政府于****年底支持组建成立,是面向全国集成电路企业、大学及研究所开放的非盈利性公共研发机构,并按照现代企业制度实现企业化经营管理。 研发中心保持以发展与中国集成电路产业相适应的应用技术为主线,通过与产业界协调发展的方式获得持续发展能力。主要业务功能包括:(*)为行业提供技术来源和知识产权保护;(*)作为先进工艺研发和验证的公共平台向制造企业开放;(*)面向应用产品开发特色工艺模块;(*)为微电子装备和原材料提供试验条件;(*) 为高校和科研院所提供人才培养的实训基地。本项目在研发中心已有的基础上,完成**英寸集成电路前沿互连工艺开发及国产设备验证评估平台建设,包括一个净化级别为****~***级、面积约****平方米的洁净室及动力、工艺支持系统;**英寸工艺设备(含两台以上国产设备)及相关辅助、测量设备的就位、安装、调试;超低介电材料、空气隙钢互联、TSV*D钢互联等技术开发。(*)项目环境影响评价结论本项目的建设符合当地规划发展要求,具有积极的建设意义。从环境质量现状调查情况来看,当地环境空气、地表水环境、声环境基本满足相应的环境功能区要求。从总体来说,当地具备项目建设所需的自然环境、社会环境和环境质量条件。项目建成运行后,主要为噪声、固废污染。在通过合理布局、污染控制等措施后,可以做到达标排放,其对外界影响较小,不会对当地环境产生明显影响。综上,本评价认为在通过采取必要的环境保护和污染控制措施后,建设项目的环境影响能够控制在当地环境保护的规定要求之内,在满足本报告书的污染防治措施的前提条件下,建设项目在环境上是可行的。*、建设项目环境影响评价文件(*)报告书简本见附件链接。(*)查阅期限自公示之日起**个工作日。*、评价机构联系人及联系方式(*)评价机构名称:******(*)评价机构证书编号:国环评证乙字第****号(*)评价机构地址:上海市黄浦区国货路***号二楼(*)评价机构联系人:联 系 人:肖先生电 话:********邮编:******电子邮件:dovelone@***.com*、征求公众意见的范围征求与本项目有关的环境保护方面的意见和建议,恕不接受与环境保护无关的问题。*、公众意见反馈(*)反馈方式公众可以向评价机构发送邮件或来访,注明“上海******”项目,并请留下联系方式。(*)反馈期限自公示之日起**个工作日。*、信息发布的有效期限自公示之日起**个工作日。
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