辽宁大连氧化镓外延片采购（Dlmu-FS-20240396）单一来源公示
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项目编号：Dlmu-FS-******** 项目名称：氧化镓外延片采购公示时间：****年**月**日- ****年**月**日拟成交单位 ：天津市****** 采购预算：******采购内容：（***）HVPE外延 *寸氧化镓外延片，共两片 衬底主要参数指标： 晶向：（***），厚度：***±** 微米，衬底电阻*.***~*.***Ωcm 外延层主要参数指标： 导电类型：n type，浓度*e**±*.*e**cm-*，厚度**±* 微米 需原厂切割：一片切割成**×**mm，一片切割成*×*mm。 主要技术指标如下：氧化镓片描述参数值单位衬底层参数衬底厚度***±**μm电阻率*.***~*.***Ω?cm半峰全宽***轴 ≦***arcsec***轴 ≦***arcsec衬底晶向***/正面抛光CMP/背面抛光Grinding/掺杂Sn/外延层参数载流子浓度*±*.*E**/外延厚度**±*μm掺杂Si＋Cl/加工参数精密切割**×**mm精密切割*×*mm 单一来源理由：本团队申请购买（***）HVPE外延 *寸氧化镓外延片。 现在全世界可以做正式产品只有日本NCT和美国Kyma两家，在做研发的有德国IKZ一家以及国内三家， 日本NCT公司是国际上最早从******，也是目前国际上氧化镓品质做的最好的，此公司可提供产品（***）HVPE外延 *寸及*寸。 美国Kyma公司只能做出上述（***）衬底产品，其他的产品全都没有。 德国IKZ目前还在研究阶段，暂时还没产品推出。 国内山东大学晶体所，上海光机所、中电**所这*家研究单位主要从事氧化镓单晶材料的研究，但目前的研究进度还停留在***面。北京铭镓半导体目前可提供的产品只有***向及***向的小尺寸衬底片，外延片还在验证阶段。北京镓和半导体和杭州镓仁半导体目前只能提供小尺寸的衬底片，无外延片产品。 综上所述，国内外只有日本NCT公司能提供（***）HVPE外延 *寸氧化镓外延片产品，而天津市******是其氧化镓外延片的独家代理。故拟采用校内单一来源采购方式采购。论证小组成员：曹菲,宋延兴,包梦恬有关单位或个人如对本项目采用校内单一来源采购方式有异议，应在公示期内以书面形式向大连海事大学招投标与采购中心反映。 联系人：崔老师 联系电话：*********** 国有资产与实验室管理处招投标与采购中心 ****年**月**日
