北京海淀北航集成电路科学与工程学院小型离子束刻蚀机采购公告
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*. 采购货物有关信息
*、采购货物相关信息：
（*）货物名称：小型离子束刻蚀机
（*）技术指标：序号货物/服务名称详细参数要求*小型离子束刻蚀机*.*设备配置设备配置清单：*. 真空腔体；*. 真空泵组：分子泵+真空计；*. 离子源；*. 样品台；*. 自动控制系统；*.*项目技术及质量要求*.配备真空腔体，上盖可灵活打开更换样品和靶材；*.支持*英寸晶圆的刻蚀，刻蚀速率可调；*.配置辅助离子源，离子束能量***eV-****eV连续可调；*.配备电动样品台，旋转速率可调；*.配备分子泵组，可实现系统的自动抽真空，真空度优于*X**-*Pa；*.配备流量计实现气体的注入，配备进气管路和排空；*.所有设备由PLC实现控制，配备触摸屏和人机界面；*售后服务售后服务*、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。*、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在*小时内响应，*小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理。*、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。*、质保期*年。（*）数量：序号产品数量/单位*小型离子束刻蚀机*套（*）交货期：收到货款后***天内
（*）交货地点：北京航空航天大学学院路校区
（*）是否接受进口产品：否
*、采购预算（最高总限价）：**万
*、参选单位资格要求：
（*）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（*）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； ① 具有独立承担民事责任的能力； ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（*）本项目不接受联合体响应；
（*）本项目不允许转包、分包；
（*）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（*）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
*、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@***.******.***。截止报名时间：****年 *月**日**时。
*、竞价会时间及方式：
时间：****年*月**日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
*、参加竞价会所需提供材料：
*月**日**:**前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区学院路**号北京航空航天大学北区快递站
柳洋 老师收，手机号：***********
*、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
柳洋 老师收，手机号：***********
*、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，******.cn或***-********（上午*点-**:**；下午**:**-**:**）
