北京购置“聚焦离子束系统”招标项目报名公告
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清设报第*******号清华大学拟对用于材料制备及分析的“聚焦离子束系统”进行招标，欢迎具有相应资质的单位报名参与投标。项目情况及相关要求如下：一、项目简介清华大学材料系（北京电子显微镜中心）购置“聚焦离子束（双束）系统”一套，包括扫描电镜分析系统。二、招标内容及主要参数要求聚焦离子束（双束）系统（一）主要技术指标：离子束*. 离子束斑：*.* nm/**kv*. 加速电压：*kv-**kv*. 离子源寿命：不小于****小时*. 注入器：多路注入器系统。用于金属和绝缘体的沉积以及增强或选择性刻蚀（至少五种气体）*. 沉积材料：XeF*、Au、W、Pt、C等*. 三维成像系统：具备离子束与电子束配合，自动切片与成像，并合成三维图象的相应软硬件功能，实现三维重构电子束：*． 分辨率：*.*nm@**kv或以上，*.*nm@*kv或以上*． 束交叉点工作距离：*mm或以上*． 加速电压：范围不小于***V-**kV（连续可调）*． 束流强度：**nA或以上*． 电子束流测量系统：可测量范围*pA-*？A样品室与样品台*． 腔内径大于***mm*． 电子光学和聚焦离子束之间的角度是***-****． 具备对绝缘材料的高分辨观察功能，配置EDS+EBSD时可同时得到图像和成分信息*． 五轴（六轴）马达驱动样品台，X、Y方向移动范围不低于***mm，回复精度小于*.*微米（在*度倾角下），Z方向移动范围不低于**mm，倾角范围-***-+***或以上*． 最大样品尺寸：不小于***mm*． 最大样品高度：不小于**mm*． 真空系统：无油真空系统*． 探测器：二次电子探测器、高效背散射电子探测器、二次离子探测器、样品室红外CCD等（二）辅助指标描述：*. 具备对绝缘材料的无荷电干扰的观察功能*．具备原位样品提出功能*．具备离子束沉积并加工复杂图形的能力*．具备能谱和电子背散射衍射同时三维重构功能*．具备两点间的测量功能扫描电镜分析系统扫描电镜分析系统主要用于材料的超微观形貌观察和微区成分及晶体结构分析、CL分析（一） 主要技术指标：分辨率：二次电子像：*.*nm@**kV，*.*nm@*kV放大倍率：**-*，***，***倍着陆电压范围：**V-**kV电子枪寿命：大于*年电子束流范围：**pA-**nA或更宽束流稳定性：*.*%/小时或更小样品室内径不小于***mm分析工作距离：*-*.*mm样品台：五轴马达驱动X、Y范围***mm，T=-**-+***探测器：普通二次电子探测器、高效二次电子探测器、二次电子+背散射电子探测器、高效背散射电子探测器、样品室红外CCD真空系统：无油真空系统（二） 辅助指标描述：具有对绝缘材料的高分辨观察与分析功能具有EDS与EBSD同时进行的安装条件具有阴极荧光CL安装口及工作环境具有自保护功能（停电、停气、停水）和系统故障侦测功能（三）售后服务：*. 免费保修期至少一年（包括所需备件费用）。*. 免费提供对*名用户管理人员的技术培训和基本维护培训。*. 免费提供一年两次上门巡检和必要的技术培训。*. 要求所有参与招标产品的生产、销售、后续维护等服务全部由同一家单位完成。三、资格预审要求*. 独立法人资格，投标企业注册资金证明，有针对本招标项目的法人代表授权委托书（原件）*. 投标单位营业执照（复印件，加盖公章）*. 企业资质证明，ISO****质量体系认证（复印件，加盖公章）*. 类似产品的销售业绩证明材料（销售合同复印件，加盖公章）*. 不同时为制造商的投标商应提供对此次招标项目的制造商授权书（原件）*. 提供产品相关技术性能资料。报名时需提交以上资料，同时附上准备投标产品的品牌、型号以及该产品与本招标公告所开列的主要技术要求相对应的指标参数或文字表述。招标单位根据以上证明资料进行资格预审，招标人将从资格预审通过者中遴选邀请对象，未被邀请者恕不另行通知。四、报名时间与地点报名时间：****年*月**日－****年*月**日（每天上午*：**-**：**，下午*：**-*：**，节假日休息）报名地点：清华大学实验室与设备处*号楼***室五、联系方式联系人：王 慧，刘老师 联系电话：***－********，********
