黑龙江哈尔滨哈尔滨工业大学双工件台精密环境控制系统招标公告
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哈尔滨工业大学招标采购办公室受用户的委托，拟就双工件台精密环境控制系统项目进行公开招标。欢迎具有此项供货能力、资信良好的供应商前来投标。一、项目名称：双工件台精密环境控制系统二、设备产地：国内（产地“国内”是指：国内制造及中国关税已经付清的国外制造的产品，具体情况请致电技术联系人）三、招标方式：公开招标四、招标编号：HITZB-***五、采购数量：*六、主要技术指标：*. 要求投标方完成双工件台精密环境控制系统的设计、制造、装调与售后服务，使双工件台机壳内部空间的环境温度、湿度、大气压力、风速等技术指标达到规定的精度要求。*. 招标范围包括：精密环境控制系统设计，精密环境控制系统与双工件台的机械接口设计，电机水冷温控系统设计，气浴板等其它分系统与部件的设计；精密环境控制系统与电机水冷温控系统的供应、安装与调试，所有气浴板、传感器、水气管道、阀门等材料与部件的供应与安装，控制计算机与控制软件，竣工交验、技术资料移交及售后质保等服务。*.售后与质保：投标方方应具备完善的售后服务保证体系，提供免费维保时间为交付使用后**个月。维保期内，当系统出现故障时，投标方在接到招标方维修通知后，技术维修人员应在**小时内到达现场进行维修调试。发生的维修费用及故障部件的更换费用由投标方承担。*. 工期：***日历天。*. 交付地：哈尔滨。需要达到的技术指标：*. 机壳内部基础环境*） 范围定义：包含机壳内部所有空间与部件，热源除外*） 温度设定点：**℃*） 温度稳定性：长期**±*.*℃*） 湿度稳定性：*%RH/*min*） 大气压力稳定性：**Pa/*min，机壳内部空间相对机壳外部过压：*~**Pa*） 洁净度：***级*. 工件台区域*）范围定义：工件台与计量框架及之间空间范围（不含干涉仪光路及热源）*）温度均匀性：±*.*℃s*）温度稳定性：*.**℃/*min*. 掩膜台区域*）范围定义：掩膜台与计量框架及之间空间范围（不含干涉仪光路及热源）*）温度均匀性：±*.*℃*）温度稳定性：*.**℃/*min*. 工件台、掩膜台干涉仪光路*）范围定义：双工件台、掩膜台干涉仪光路所在的空间范围*）温度稳定性：长期±*.**℃，*mK/**s*）湿度稳定性：*%RH/*min、*.*%RH/**s*）大气压力：微动台静止时稳定性*.*Pa/*min，微动台步进扫描运动时稳定性**Pa/*min、*.*Pa/**s*）风速：低速气浴*. 电机水冷*）范围定义：双工件台所有宏动电机、微动电机的水冷温度控制，包含双工件台的宏动电机热屏蔽板和宏动电机定子的水冷温度控制*）宏动电机表面温升：**±*℃，微动电机表面温升：**±*.*℃*）电机水冷水道输入、输出压差：*. 其它技术要求*）软硬件架构需满足：基于VME机箱+PowerPC硬件平台，VxWorks操作系统，与上位机通过以太网通信。*）温度测量系统A/D转换需达到**位及以上，系统重复测量精度±*.***℃以上。*）电机水冷总功率****W，冷却水温控精度优于±*.**℃。七、投标商准入资格（*）具有在境内的独立法人资格以及相关资质证明文件；本次招标如出现一个投标人的二个授权代表来参加本次投标，则该投标人的投标资格将被当场取消，投标保证金不退，本次招标不接受联合体投标，前来投标的单位需要提供上一年度经会计师事务所审计的审计报告。（*）具备中国政府采购法第二十二条的条件。（*）本次招标公告截止日期为****年**月**日中午**点整，有意参与投标的供应商请将投标申请表及营业执照复印件快递（或送达）予我们，以便于有效安排开标事宜。（*）如果报名情况符合开标条件，标书将在报名截止后以电子邮件的形式发送到您的邮箱，敬请自行查询邮箱并仔细阅读标书，哈工大招标办不再另行通知，如有疑问可致电或到访招标办，请在规定时间交纳标书款、投标保证金（标书款收取后一概不退）获取投标资格。（*）请于收到电子版标书后，在标书中明确的开标时间前一天（节假日顺延）下午*：**-*：**到指定地点（哈尔滨市南岗区西大直街**号，哈尔滨工业大学行政办公楼***室招标采购办公室）购买标书，开标前交投标保证金，未按照要求购买标书的供应商不能取得投标资格。（如有疑问可致电或到访招标办）八、报名办法招标人：哈尔滨工业大学招标人地址：哈尔滨市南岗区西大直街**号，哈尔滨工业大学行政办公楼***室招标采购办公室招标联系人：张立 联系电话：****－********技术联系人：崔俊宁 联系方式：****-********-***邮政编码：******
