江苏淮安关于荣芯半导体（淮安）有限公司荣芯半导体一厂12英寸集成电路生产线项目环境影响报告表的批复
查看隐藏内容（*）需先登录
荣芯半导体（淮安）有限公司：你公司报送的《荣芯半导体一厂**英寸集成电路生产线项目》（以下简称“《环境影响报告表》”）已收悉，经研究，批复如下：一、项目《环境影响报告表》符合建设项目环境影响报告表编制的基本要求，环境影响分析内容及结论基本可信。根据《环境影响报告表》的评价结论，在落实《环境影响报告表》中提出的各项污染防治及风险防范措施前提下，从环保角度考虑，******在淮安高新技术产业开发区长江东路***号建设**英寸集成电路生产线项目（项目代码：****-******-**-**-******）。二、在项目工程设计、施工建设和环境管理过程中，你公司须严格落实《环境影响报告表》中提出的各项环境保护措施和要求，并重点落实以下要求：（一）项目建设期应按要求做好各项废水、废气、噪声及固废的污染防治工作，督促施工单位在开工十五日前到环保部门办理排污申报手续。夜间施工须经环保部门批准后方可施工，尽量减少噪声对周围环境的影响。（二）按“雨污分流、清污分流、一水多用”原则设计和建设厂区给排水管网。项目产生的工艺酸碱废水、含铜废水、含氟废水、有机废水、研磨废水、含氨废水、氟氨废水、废气洗涤塔排水（包括碱性废气洗涤塔排水、酸洗废气洗涤塔排水）、纯水制备系统排水（包括反冲洗再生废水、反洗废水）、常温冷却水系统冷却塔排水等生产废水经厂区内现有污水处理站预处理达接管标准后排入淮安市淮阴区新渡片区污水处理厂深度处理。经化粪池处理后的生活污水及经隔油池处理的食堂废水达接管标准后排入淮安市淮阴区新渡片区污水处理厂深度处理。（三）含砷工艺废气采用POU净化装置处理后通过DA***排气筒达标排放；硅片干法刻蚀、离子植入、CVD等工序产生的工艺尾气经POU净化装置+碱液喷淋设施处理后通过**m高排气筒达标排放；硅片清洗、湿法刻蚀等工序产生的酸性废气经碱液喷淋设施处理后通过**m高排气筒达标排放；硅片清洗、显影等工序产生的碱性废气经酸液喷淋塔处理后通过**m高排气筒达标排放；使用的溶剂挥发出来的有机废气经“沸石转轮浓缩+TO焚烧氧化”工艺处理后通过**m高排气筒达标排放，剩余未被收集的有机废气无组织排放；污水处理站废气收集后经酸喷淋+碱喷淋工艺处理后通过**m高DA***排气筒达标排放。危废仓库收集的废气经一级活性炭吸附处理后通过DA***排气筒达标排放；锅炉废气经密闭管道负压收集并接入低氮燃烧器处理后通过DA***排气筒达标排放。工艺废气中氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、NH*、TVOC、异丙醇、砷化氢、磷化氢、颗粒物、非甲烷总烃、NOx（POU燃烧产生的NOx、酸洗硝酸雾合并排放）排放执行江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB**/****-****）排放浓度限值要求；POU燃烧产生的二噁英，有机废气处理装置废气中NOx、SO*、颗粒物，厂区内VOCs无组织排放限值执行江苏省《大气污染物综合排放标准》（DB**/****-****）；污水处理站废气中氨和硫化氢排放速率及厂界浓度限值执行《恶臭污染物排放标准》（GB*****-**）；锅炉污染物排放限值执行江苏省《锅炉大气污染物排放标准》（DB**/****-****）。（四）对项目噪声源进行合理布局，优先选用低噪型设备，采取有效的隔声、消音、减振等降噪措施，确保厂界噪声达标排放，排放标准执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB*****-****）*类标准。（五）按照“减量化、资源化、无害化”处置原则，项目须落实《环境影响报告表》提出的各类固体废物的收集、贮存、综合利用和安全处置措施。其中，项目产生的废氢氟酸、废磷酸、废异丙醇、废硫酸铜溶液、含铜污泥、废矿物油、废离子交换树脂、废汞灯、废UPS电池、沾染化学品手套、废抹布等危险废物委托有资质单位处置，并按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB *****-****）、《省生态环境厅关于印发江苏省固体废物全过程环境监管工作意见的通知》（苏环办〔****〕**号）等有关文件要求建设危险废物暂存场所用于暂存运营期产生的危险废物；废芯片、废靶材等一般固体废物收集后外售综合利用，有机废水处理系统污泥、含氟污泥等******处置，废研磨垫、纯水制备树脂等一般固体废物由生产厂商予以回收，一般固体废物在厂区内贮存的，应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB *****-****）的要求；生活垃圾由环卫部门统一清运处理。（六）项目以厂区现有化学品仓库、污水处理站为边界设置***米卫生防护距离，卫生防护距离范围内不得规划新建居民住宅、学校、医院等环境敏感目标。（七）严格按照《江苏省排污口设置及规范化整治管理办法》等文件要求，规范化设置各类排污口和标志。三、项目污染物年排放量核定为：（一）大气污染物：颗粒物≤*.***t，VOCs≤*.***t（有组织≤*.***t、无组织≤*.***t），SO*≤*.***t，NOx≤**.***t，氟化物≤*.***t，HCl≤**.***t，硫酸雾≤*.***t，NH*≤*.***t（有组织≤*.***t、无组织≤*.***t），磷烷≤*.***t；砷烷≤*.*****t；氯气≤*.***t。（二）水污染物（接管量/环境外排量）：废水≤*******t，COD≤**.***t/**.***t、SS≤***.***t/**.***t、TN≤**.***t/**.***t、NH*-N≤**.***t/*.***t、TP≤*.***t/*.***t、铜≤*.***t、氟化物≤**.***t。（三）固体废物：全部综合利******须严格落实生态环境保护主体责任，对《环境影响报告表》内容和结论负责，做到配套建设的污染防治设施与项目主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用，并在建设过程中纳入施工合同。项目竣工后，应按规定组织开展项目竣工环保设施“三同时”验收工作，验收合格后，方可******应当对照《固定污染源排污许可分类管理名录（****版）》，在启动生产设施或者在实际排污之前申领排污许可证（或者填报排污登记表）；未取得排污许可证（或者填报排污登记表）的，不******应对废气、废水治理等污染治理设施开展安全风险辨识管控，健全内部污染防治设施稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建设环境治理设施，确保环境治理设施安全、稳定、有效运行。七、淮安市淮阴生态环境综合行政执法局负责对该项目的日常监督管理。八、《环境影响报告表》自批准之日起超过*年，项目方开工建设的，你公司应当报我局重新审核。项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，你公司应当向我局重新报批环境影响评价文件。****年**月*日
