湖北武汉武汉大学原子层沉积系统设备招标公告
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(开标时间*月**日) 根据国家采购与招投标法律法规的有关规定，武汉大学对原子层沉积系统进行公开招标，欢迎具备相应资质和实力的供应商参加投标。现将有关事项公告如下： 一、招标范围： 原子层沉积系统（主要技术指标：见附件）二、供应商资格要求 投标人必须是中国境内注册的独立法人,不能是法人联合体。 三、获取招标文件的时间、地点*、获取招标文件时间： ****年*月*日至 **** 年*月*日上午*:**－**:**,下午*:**－*:**(北京时间,节假日除外)； *、获取招标文件地点：武汉大学采购与招投标管理中心 *** 室； 四、投标截止时间、开标时间及地点 *、递交投标文件时间： **** 年*月**日上午*:**至*:** (北京时间) *、投标截止及开标时间： **** 年*月**日上午*:** (北京时间) *、投标、开标地点：武汉大学采购与招投标管理中心 五、采购人、联系人、技术负责人等。 采购人名称：武汉大学 采购联系人： 张伟 吴斌联系电话：******** ********采购项目技术负责人：刘传胜联系电话：***********武汉大学采购与招投标管理中心****- ****附件 主要技术参数项目名称：原子层沉积系统 数量一套序号参 数*真空反应腔体：全 ***L不锈钢材质，有效耐腐蚀；内外表面电抛光处理，杜绝自身污染；腔壁融合冷却、散热设计。*载物平台：下沉式结构，适合*** mm，或小于该尺寸的任何形状样品*生长模式：同时包含常规及“充分暴露”*种模式*极限压力：＜*×**-* pa*基底温度：室温至***oC以上；升温稳定及时间＜*.*h ， 精度±*oC*腔壁温度：室温至***oC以上；升温稳定及时间＜*.*h ， 精度±*oC*薄膜均匀性：≤ *%*工作压力: *至 *.*****×***pa*载气压力：*.*至*.*Mpa**气动压力：*.* 至*.* Mpa**压力检测范围： *.*×**-*-*** torr**高速隔膜阀门：精度 ms ，耐温*** oC ，自带加热孔，加热更精确、稳定。**阀门加热：室温至***oC；升温稳定及时间＜*.*h，精度±*oC **管路加热：室温至***oC；升温稳定及时间＜*.*h，精度±*oC **液态前驱体及钢瓶：*路液态前驱体：水、铝、铪钢瓶为耐腐蚀不锈钢材质，耐压额定值**.* bar，采用渗透对焊结构，高密封性，同时配备耐高温手动密封阀。**液态源钢瓶加热：室温至***oC；升温稳定及时间＜*.*h，精度±*oC**真空泵：机械泵，具有断电保护功能，含气体稳定控制器，极限真空：**** -* mbar**控制系统硬件：工业用可编程逻辑控制器（PLC），优秀的精确性、可靠性； 触摸屏控制，更具方便灵活。**控制系统软件：采用PLC加触摸屏控制系统，能够监控系统运行时压力、温度等各项指标，并能保存工艺方案。系统具有软件更新、报警、断电保护、防倒吸等安全功能，有效防止意外因素对设备造成的破坏。**机柜：优质铝型材，耐腐蚀处理承重台面。万向轮可自由移动，并带可调节固定支脚。**扩展功能：可预留管路接口、外接标准设备、在线实时监测设备如QCM、RGA等
