北京海淀北航集成电路科学与工程学院质子交换炉采购公告
查看隐藏内容（*）需先登录
*. 采购货物有关信息
*、采购货物相关信息：
（*）货物名称：（*）技术指标：序号货物/服务名称详细参数要求*硬件和性能参数质子交换炉：*基片尺寸： * 寸片、*寸，*cm**cm方片；* 设备温度区间：***℃~***℃;* 控温精度：*.*℃;* 恒温区长度及温度均匀性：≤±*.*℃/***mm ，位置位于石英管底部开始向上 ***mm* 单点稳定性： ±*℃/**h；* 可实现自动上下料，旋转和上下多维度搅拌，；* 提拉旋转系统：模组机械手位于石英管上方，实现提拉与搅拌功能，提拉范围可调 **～**mm；速度可调，速率约为 *～*mm/s；旋转速率可调 *～*RPM；* 具有超温、极限超温超温、断偶报警和保护功能；* 控温方式；*点内外热偶串级控温。** 工艺及参数支持在线修改，可根据需求进行自定义；** 带尾气废液处理：工艺完成后可将石英管内的液体排到废液桶内。** 工艺控制：计算机自动控制，工艺自动运行。（*）** 条可编辑工艺，每条工艺可编 辑时间、温度、流量等参数。（*）具有 spike 控温、profile 控温、工艺可编辑。退火模块：（*）基片尺寸：* 英寸及以下； （*）石英管数量：* 管；（*）工作温度：：***～****℃； （*）控温精度：*.*℃； （*）恒温区长度及温度均匀性：±*℃/***mm（***℃～***℃）， （*）最大升温速率：**℃/min； （*）控温方式：* 点内外热偶串级控制； （*）送片方式：SIC 杆套石英管，自动推拉舟（最大载重 **Kg)，速度 **～ ***mm/min 连续可调； （*）气路系统：一路氧气，一路氮气，预留一路，气体均采用数字质量流量计 精确控制气体流量；另设一路保护气路 N*。 （**）工艺控制：计算机自动控制，工艺自动运行。*）*** 条可编辑工艺， 每条工艺可编辑时间、温度、流量等参数。*）具有 spike 控温、profile 控温、spike 和 profile 混合控温的功能，工艺可编辑。*）分段 PID 功 能，可以满足不同温度段的控温功能，工艺可编辑。*）拉温功能：** 条不同的温度点的 spike 和 profile 的温差存储。*售后服务售后服务*.质保期限为 二 年。质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，乙方应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由乙方承担，乙方如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。*.质保期内，乙方将向最终用户提供优质的售后技术支持服务，开通**小时热线电话接受最终用户的电话技术咨询， * 小时内响应；如故障不能排除，乙方应在 ** 小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。*.乙方应定期对产品免费进行预维护保养，每年 * 次，以防患于未然。在整个产品运行过程中，乙方帮助最终用户解决在应用过程中遇到的各种技术问题。*.对于质保和备品备件的服务和销售承诺，投标（应答）文件优于本条款的，乙方按照投标（应答）文件承诺执行。*.设备调试期间，提供所需验证材料和晶片。（*）数量：序号产品数量/单位*质子交换炉套（*）交货期：合同签订后***天内
（*）交货地点：北京航空航天大学学院路**号第一馆
（*）是否接受进口产品：否
*、采购预算（最高限价）：**.*万
*、参选单位资格要求：
（*）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（*）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； ① 具有独立承担民事责任的能力； ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（*）本项目不接受联合体响应；
（*）本项目不允许转包、分包；
（*）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（*）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
*、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@***.******.***。截止报名时间：****年**月**日**时。
*、竞价会时间及方式：
时间：****年**月**日；方式采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
*、参加竞价会所需提供材料：
**月**日**:**前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆
常老师收，手机号：***********
*、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常老师，邮箱：******
*、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，******.cn或***-********（上午*点-**:**；下午**:**-**:**）
窗体底端
