北京海淀北航集成电路科学与工程学院国产科研型镀膜设备采购公告
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*. 采购货物有关信息
*、采购货物相关信息：
（*）货物名称：（*）技术指标：序号货物/服务名称详细参数要求*硬件和性能参数*. 镀Au/In/Sn等材料,设备专用避免In、Sn污染；*. 不少于四个沉积位置，镀膜室极限真空度优于*E-*Pa；*. 配备保护内罩和防污染装置，避免材料之间的相互污染；*. 样片尺寸：最大可放置尺寸*inch样片；*. 配置分子泵，对N*的抽速不小于****L/S；*. 配置机械泵，对的抽速不小于**m*/h，额定转速不小于****rpm；*. 配备*inch靶安装孔位；*. 薄膜均匀性≤±*%；*. 配备全量程和皮拉尼真空计；**. 配备膜厚监测装置，可自动实现沉积的开启和关断；**. 样品台可升降旋转，并且可加热至***摄氏度，预留离子源安装位置实现样品刻蚀；**. 配备基于PC和PLC的软件，软件框架；**. 控制软件集成多种设备的控制功能，可执行手动和全自动工艺流程，采用前端wpf与后端C++分离的开发方式，架构合理清晰，符合SECS/GEM标准；*售后服务售后服务*、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。*、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在*小时内响应，**小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。*、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。*、质保期*年。*、优先考虑具有安全生产许可证、ISO****质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。（*）数量：序号产品数量/单位*国产科研型镀膜设备*套（*）交货期：合同签订后**天内
（*）交货地点：北京航空航天大学学院路**号第一馆
（*）是否接受进口产品：否
*、采购预算（最高限价）：**万元
*、参选单位资格要求：
（*）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（*）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； ① 具有独立承担民事责任的能力； ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（*）本项目不接受联合体响应；
（*）本项目不允许转包、分包；
（*）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（*）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
*、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@***.******.***。截止报名时间：****年**月**日**时。
*、竞价会时间及方式：
时间：****年**月**日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
*、参加竞价会所需提供材料：
**月**日**:**前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆
常老师收，手机号：***********
*、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常老师，邮箱：******
*、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，******.cn或***-********（上午*点-**:**；下午**:**-**:**）
窗体底端
