江苏南京机械工程学院三轴激光干涉测距仪采购项目单一来源采购前信息公示
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一、项目信息采购人：南京理工大学项目名称：三轴激光干涉测距仪采购预算金额：**万元拟采购项目概况：项目拟采购的干涉仪用于米级位移的纳米精度测量，主要用于面向光刻机对准平面磁浮定位平台、光学测量扫描平台的平面位置测量。由于平台采用并联方式，传统长程光栅尺等无法进行平面位置的测量，必须采用激光干涉方式获得测量数据并进行反馈。该平台所需达到的技术指标如下：*）量程**m；*）测量分辨率*pm；*）重复度*nm；*）最大测量速度*m/s；*）测量带宽**MHz。二、采用单一来源采购方式的原因及说明前期已采购一台德国Attocube公司IDS****型号的激光干涉仪，长期处于满负荷运行状态，导致项目推进受阻，亟需增购一台。该设备具有小型化特征，同时在**m量程内科获得*pm的测量分辨率和*nm的重复精度，指标极为先进，能够满足项目需要，本次采购是在原来基础上的同型号续购，不仅有利于设备维护，同时也能更好地开展科研和实验工作。因此，本项目建议仍然选择动智精密设备科技（上海）有限公司代理的德国Attocube公司IDS****设备。三、拟定供应商信息制造商：Attocube代理商（如果有）：动智精密设备科技（上海）******地址：中国（上海）自由贸易试验区张衡路***弄*号*层***室四、公示期限****年**月**日至****年**月**日，共计*个工作日五、其他补充事宜无六、联系方式*.采购人联 系 人：徐江海联系地址：南京市玄武区孝陵卫街***号南京理工大学联系电话：************.采购科联 系 人：刘老师联系地址：南京理工大学致远楼***室联系电话：***-********七、附件单一来源采购专家论证意见表（格式见附件）
