北京海淀北航集成电路科学与工程学院刻蚀深度监控系统设备采购公告
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*. 采购货物有关信息
*、采购货物相关信息：
（*）货物名称：（*）技术指标：序号货物/服务名称详细参数要求*产品名称： 刻蚀深度监控系统数量：*套硬件和性能参数一、 刻蚀深度监控系统：*.*） 一套刻蚀深度监控系统包括：*个带共线视觉系统的和*台电脑内置*套软件；*.*） 带共线视觉系统的性能参数： ***.******.***）激光波长：***nm 激光光斑尺寸：≤**um @ FWHM 激光焦距的工作距离满足买方现有刻蚀机焦距要求***.******.***）视觉系统：相机像素：≥*百万像素；图像最小分辨率：≤**μ***.******.***）照明光束与激光光束同轴安装在设备内部***.******.***) 手动X-Y移动台, X方向和Y方向行程：≥ **mm，精度：≤* μm*.*） *台控制电脑内置*套软件，通过线缆与设备主机头连接， 实现设备控制***.******.***） 软件具有的功能要求如下：内置标准材料库，可新建客制化材料库数据；可在软件上输入晶圆膜层结构，并建模；★ 可根据工艺不同，提供包含简单模式，模型模式，等不低于四种测量模式的终点检测模式；刻蚀参数可设定：Filter Cut Off (Hz)， 延迟，过度刻蚀，测量推迟等软件具备模拟运行功能，优化监控判停参数；工艺参数记录功能，并可导出，分析监控结果并优化监控方案；***.******.***）刻蚀深度监控系统预留通讯接口，便于以后与刻蚀机通讯功能；二、安装要求*.*）卖方需提供转接法兰，观察窗口等硬件，确保所提供的刻蚀深度监控系统可以垂直安装在现有的刻蚀机上， 并确保刻蚀深度监控系统焦距合适，可以正常工作。 现有的刻蚀机型号：Oxford Plasmalab System *** ICP *** 三、培训和服务*.*）卖方提供一次培训服务，确保买方人员可以正确使用*.*）在质保期内，若买方刻蚀监控方案工艺有疑问，卖方免费提供刻蚀监控结果分析。四、样机服务*.*） 合同签订后，卖方提供一台样机免费给买方使用，买方进行使用和测试。 样机使用期限：*个月*售后服务） 售后服务*、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。*、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在*小时内响应，**小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。*、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。*、质保期:*年。（*）数量：序号产品数量/单位*刻蚀深度监控系统*/套（*）交货期：合同签订后**天内
（*）交货地点：北京航空航天大学学院路**号第一馆
（*）是否接受进口产品： 是
*、采购预算（最高限价）：**万
*、参选单位资格要求：
（*）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（*）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； ① 具有独立承担民事责任的能力； ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（*）本项目不接受联合体响应；
（*）本项目不允许转包、分包；
（*）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（*）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
*、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@***.******.***。截止报名时间：****年**月**日**时。
*、竞价会时间及方式：
时间：****年**月**日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
*、参加竞价会所需提供材料：
**月**日**:**前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄或送至以下地址：
地址：北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆
常老师收，手机号：***********
*、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常老师，邮箱：******
*、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，******.cn或***-********（上午*点-**:**；下午**:**-**:**）
窗体底端
