浙江浙江大学关于原子层薄膜沉积系统的竞争性谈判公告
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根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，经政府采购管理部门批准，浙江大学就原子层薄膜沉积系统进行竞争性谈判，欢迎国内合格的供应商前来谈判。一、谈判项目编号:ZUPC-JZ-*******二、谈判项目概况（内容、用途、数量、简要技术要求）：标项序号标项内容数量单位简要技术要求、用途备注*原子层薄膜沉积系统*.*套ALD样品（衬底）种类和尺寸：*.单片直径不小于**mm的衬底*.同时可沉积不小于**片直径不小于**mm的衬底*.*D物体*.粉末样品。ALD样品加载系统：*.样品架可承受高温至****℃以上ALD反应区：*.反应区尺寸：直径：***mm，长度：大于***mm*.反应区温度：**到****℃以上*.基础真空：小于压力:*×**-*T*.工作压力:**mT-***T。ALD反应原料供应系统：*.供应线:至少两条不锈钢管输送线用于输送反应物蒸汽，输送线可加热至***℃*.两个固态或液态化学反应原料容器：高密封、可加热容器，容积***ml，容器可加热至***℃*.流量控制：高速ALD控制阀，（开、关）响应时间**毫秒。ALD过程控制、显示与记录系统：*.薄膜沉积过程的参数，如温度、压力、流量、时间等全部采用数字控制*.薄膜沉积过程动态图像及数字显示*.薄膜沉积过程计算机控制与记录ALD系统外壳：*.电源、流量、压力、温度等控制系统全部置于封闭、四面可开式金属箱体。*.反应器部分全部置于封闭、四面可开式箱体。样品加载方式：采用自动样品加载系统。质量方面：重要部件如机械泵、压力传感器、数字流量传感器、不锈钢管输送线、连接阀、不锈钢容器等材料采用优质产品/材料，以保证控制精度和质量。安全方面：前驱体输送系统、反应腔等的封闭性需予以考虑。 三、谈判供应商资格要求：（*）国内具有独立法人资格（*）有相当的技术力量和经济实力（*）售后服务能力强（*）社会信誉好（*）注册资金**万元人民币（含）以上的供应商均可参加四、竞争性谈判文件的发售时间及地点等：*、竞争性谈判文件发售时间：****年*月**日至****年*月**日(双休日及法定节假日除外)上午：*:**-**:**下午：**:**-**:***、获取竞争性谈判文件地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四***室）*、竞争性谈判文件售价(元)：***(售后不退)五、谈判响应截止时间：****年*月**日 **:**六、谈判响应文件提交地点：浙江大学紫金港校区东四***室七、谈判时间：****年*月**日 **:**(北京时间)八．谈判地点：浙江大学紫金港校区东四***室九、谈判保证金及交付方式：*****.*十、其他事项：*、购买竞争性谈判文件时须提交的文件资料a)企业营业执照副本（复印件加盖公章）b)法定代表人授权委托书（原件）*、联系方式采购人名称：浙江大学地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四***室）联系人：陈老师联系电话：********
