江苏南京纳米级表面形貌检测系统单一来源采购前公示
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单一来源采购前公示一、项目信息采购人：沈哲项目名称：纳米级表面形貌检测系统 预算金额：**万拟采购项目概况：针对半导体芯片、超表面器件、微电子以及超高亮度发光二极管等复杂且微小的结构，进行从微米到纳米尺度的表面形貌测量，实现对轮廓形状、表面粗糙度及尺寸的精准分析与评价。用于在微米到纳米尺度范围内，对材料或器件的表面形貌进行全面的表征，从而确保其尺寸、形状和粗糙度的精确测量。主要指标要求最大晶圆尺寸:***mm(* 英寸)；最大样品厚度:**mm (* 英寸)；台阶高度重现性:*?,*σ在*μm台阶上；垂直范围:*mm(*.***英寸)。 二、采用单一来源采购方式的原因及说明：在纳米级表面形貌检测中，布鲁克台阶仪能够提供高精度的测量结果，这对于需要精确数据的研究和生产过程来说非常重要。布鲁克台阶仪可以进行多种类型的表面形貌测量，包括但不限于台阶高度、粗糙度、薄膜厚度等。这种多功能性使得一台设备就可以满足多种测量需求。作为一家全球知名的科学仪器制造商，布鲁克提供专业的售后服务和技术支持，这在设备出现问题时可以得到及时的帮助。布鲁克的产品以其稳定可靠而著称，长期使用也能保持良好的性能。三、拟定供应商信息制造商：布鲁克代理商（如果有）：******地址：上海市松江区莘砖公路***号松江高科技园区**幢***室四、公示期限*个工作日 五、其他补充事宜：六、联系方式*.采购人联 系 人：沈哲联系地址：江苏省南京市玄武区孝陵卫***号联系电话：*********** *.招投标办公室 联 系 人：吴老师联系地址：江苏省南京市玄武区孝陵卫***号联系电话：***-********七、附件单一来源采购专家论证意见表
