浙江杭州浙江大学关于射频等离子体源的竞争性谈判公告
查看隐藏内容（*）需先登录
根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，经政府采购管理部门批准，浙江大学就射频等离子体源进行竞争性谈判，欢迎国内合格的供应商前来谈判。一、谈判项目编号:Z*****二、谈判项目概况（内容、用途、数量、简要技术要求）：设备名称数量技术参数射频等离子体源（Z*****）*功能：射频等离子氧源用于离解双原子氧，产生氧化物薄膜生长所需的活性氧原子。也可以做为清洗衬底用。特点：*.产生的束流不含离子，有助于生长高质量的薄膜，也可以在不损伤衬底表面的情况下清洗衬底。*.可在生长速率大于*μm/hr的情况下生长高质量的薄膜。*.光阑和等离子腔形状可以顾客定制，以满足客户对不同流量的需求。*.射频等离子源操作软件，能够实现自动操作，允许用户保存数据，编写工艺程序。*.等离子源上带有观察窗口，并添加等离子监控仪技术参数： 带有集成水冷却装置带有集成挡板带有氧化铝腔室，及其保护罩，光阑可更换射频输入：*** VAC/ **Hz射频输出：**.** MHz @ * to *** W射频功率可实现手动及自动调节可实现手动点火及自动点火等离子源在腔室内的长度：**’’接口法兰尺寸：*.*”CF法兰腔室内的等离子源直径*.**”生长速率最大*μm/hr配有射频等离子源的控制软件，软件可实现数据录入，程序编写，监控等离子状态，MFC控制，电源控制，电源、水及气体有安全互锁气体流量：*.*-**SCCM可调配有等离子监控仪组件： *.等离子源主体部分*.射频发生器及电缆*.等离子源控制软件（包括自动控制部分）*.质量流量控制计（MFC）*.等离子源气动集成挡板 三、谈判供应商资格要求：符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的谈判响应方资格条件*.具有独立承担民事责任的能力*.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度*.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力*.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录*.参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录*.法律、行政法规规定的其他条件。▲谈判响应方的特定条件：*.注册资本人民币**万元（含）以上*.本项目不接受联合体投标。四、竞争性谈判文件的发售时间及地点等：*、竞争性谈判文件发售时间：****年*月**日至****年*月**日(双休日及法定节假日除外)上午：*:**-**:**下午：**:**-**:***、获取竞争性谈判文件地点：******（杭州市西湖区浙大路**号浙江大学玉泉校区设备楼三楼）*、竞争性谈判文件售价(元)：***(售后不退)五、谈判响应截止时间：****年*月**日 **:**六、谈判响应文件提交地点：杭州市西湖区浙大路**号浙江大学玉泉校区设备楼三楼会议室七、谈判时间：****年*月**日 **:**(北京时间)八．谈判地点：杭州市西湖区浙大路**号浙江大学玉泉校区设备楼三楼会议室质疑和投诉：谈判响应方如认为采购文件使自身的合法权益受到损害的，应于自发布公告之日起七个工作日内以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方如认为采购过程和成交结果使自身的合法权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方对采购机构的质疑答复不满意或者采购机构未在规定时间内做出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向浙江大学采购管理办公室（****-********）投诉。九、谈判保证金及交付方式：谈判保证金人民币贰万元。谈判响应方应于****年*月**日上午*:**前在杭州市西湖区浙大路**号浙江大学玉泉校区设备楼******（三楼财务室）交纳并到帐。交付方式:现金/汇票/支票/电汇收款单位（户名）:******开户银行：工行浙大支行银行账号：*******************十、其他事项：*、购买竞争性谈判文件时须提交的文件资料*.企业营业执照副本（复印件加盖公章）*.报名人有效身份证件及复印件。*、联系方式采购人名称：浙江大学地点：杭州市西湖区浙大路**号，浙江大学玉泉校区设备楼三楼联系人：陈老师联系电话：****-********传真：****-********邮箱：******.cn报名表下载地址：求是招标网(http://***.******.***)
