项目名称 高真空磁控溅射镀膜设备 项目编号 XF-WSBX-******* 公示开始日期 ****-**-** **:**:** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额 联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 成交后*个工作日内 到货时间要求 成交后***个工作日内 预算 ￥***,*** 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 收货地址 玉泉校区第十教学楼二楼 采购清单* 采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类 高真空磁控溅射镀膜设备 否 * 台 真空应用设备 品牌 规格型号 \t \t 预算\t \t ￥***,***\t \t 技术参数 *、溅射真空室腔体:*套*)外形：优质***不锈钢D形真空室腔体*套，内部尺寸D***×***mm，后门采用铰链式刀口法兰，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，配视窗*套，前门采用横拉方门，配视窗*套；*)底部：*英寸磁控靶（美国科特莱思科）接口*套,清洗接口*套，照明接口*套，预留分子泵接口*套，；*)顶部：样品台接口*套，气动挡板接口*套；*)侧壁：预留法兰若干；*)腔体漏率：整体漏率优于*×**-**Pa.m^*/S，保压**小时，压强小于**Pa。*、磁控溅射系统：*套*)磁控靶：*英寸普磁靶（美国科特莱思科）*套，靶材*英寸，靶头可摆动调节溅射角度，靶头内部水冷；*)清洗：基片清洗*套，可摆动调节；*)靶挡板：各溅射靶配独立挡板，以保证镀膜的工艺性（预溅射、单层膜、多层膜、掺杂膜等镀膜防止交叉污染和干扰等）；*)射频电源*台：***W，自动匹配；*)直流电源*台：***W。*、样品台系统：*套*)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速*～**转／分，通过触摸屏控制连续可调；*)基片升降：衬底与靶材间距**-***mm，电动升降，通过触摸屏控制连续可调；*)基片挂架：采用水冷台，接入冷水机冷水，承载*****mm基片**片；*)基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关，速度平稳。*、配气系统：*套（*路工艺气体流量控制，如Ar，N*等）*)质量流量控制器*套；*)高真空气动挡板阀*台；*)φ*电磁截止阀*套；*)φ*不锈钢管路*套。*、设备机架：*套*)**碳钢方管焊接机架*套，表面喷塑；*)*英寸万向轮*件，移动调整；*)地脚*件，锁紧定位。*、电控系统：*套（电气控制采用设备机架和电控柜内置）*)烘烤照明电源：*台；*)总控制电源（配**英寸触摸屏，控制器，控制样品台，磁控靶挡板，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：*台；*、其他技术参数：*)缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；*)供电：～***V单相供电系统（峰值*KW）；*)供水：循环制冷水机，冷却水温度**℃～**℃，工作环境温度：**℃～**℃；*)供气：小型无油静音气泵，提供***.******.***气压，驱动气动阀门；*)真空室极限真空：优于*×**^-*Pa，大气至*×**^-*Pa时间优于**分钟（充干燥氮气）。 售后服务 服务网点:当地;电话支持:*x**小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;在设备交付两年内免费提供一次搬迁服务。服务内容包括设备分拆，设备指导包装，运输；设备在新场地的组装和调试。; 浙江大学 ****-**-** **:**:**