广东深圳HF气相刻蚀设备采购项目招标公告
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HF气相刻蚀设备采购项目 国际招标公告 日期：****年*月**日 招标编号：****-***TC***Q**M（GGPT*******） 项目名称：HF气相刻蚀设备采购项目 ******受粤港澳大湾区（广东）量子科学中心委托对下列产品及服务进行国际公开招标，于****年*月**日发布招标公告。本次招标采用公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 招标条件 项目概况：购置HF气相刻蚀设备采购*套。 资金到位或资金来源落实情况：资金已落实 项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件 招标内容 *.*项目实施地点：广东省深圳市 *.*招标产品列表： 序号 产品名称 主要技术参数 数量 交货时间 * HF气相刻蚀设备采购 ****.******.***催化剂：水作催化剂，没有添加任何其他催化剂。 ****.******.***释放良率：无黏附的干法释放，Mems结构***%完全释放。 ****.******.***刻蚀速率：悬臂结构大于*.* um/min； 空白暴露氧化硅大于*.*um/min。 ****.******.***片内均匀性≤*% *?。 ****.******.***片间均匀性≤*%*?。 ****.******.***选择比：对PECVD氮化硅**:*。 *套 合同生效后**周内 *.*简要技术规格：具体详见第八章“货物需求一览表及技术规格”。 投标人资格要求 *.*投标人应具备的资格或业绩：详见投标资料表。 *.*是否接受联合体投标：详见投标资料表。 *.*******深圳分公司登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。 *.*未在本项目投标截止时间前，在中国国际招标网（http://***.******.***）成功注册的投标人，不得参加投标。 招标文件的领购 *.*招标文件领购开始时间：****年*月**日（节假日除外）上午*时**分至**时**分，下午**时**分至**时**分（北京时间） *.*招标文件领购结束时间：****年*月**日**时**分（北京时间） *.*招标文件领购地点：本项目采用线上发售招标文件方式，中招联合招标采购平台（http://***.******.***.cn） *.*招标文件售价：本招标文件每包售价为***元人民币或***美元，售后不退。 投标文件的递交 *.*投标截止时间（开标时间）：****年*月*日**时**分（北京时间） *.*投标文件送达地点：******深圳分公司（深圳市南山区科苑路**号东方科技大厦***） *.*开标地点：******深圳分公司（深圳市南山区科苑路**号东方科技大厦***） 发布公告的媒体 *.*本公告同时在《中国国际招标网》、《中国招标投标公共服务平台》上发布。投标人在投标前应在必联网（https://***.******.***）或机电产品招标投标电子交易平台（https://***.******.***）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。 联系方式 招标人：粤港澳大湾区（广东）量子科学中心 地址：广东省深圳市福田区槟榔道*号深港国际科技园 联系人：冯老师 联系方式：*********** 招标机构：****** 地址：深圳市南山区科苑路**号东方科技大厦*** 邮编：****** 联系人：李小玲、鲍永杰 电话：****-********转****、*********** 电子邮箱：****** 其他补充说明 *.*账号信息 人民币账户： 开户名称：******深圳分公司 Accountname：ChinaCNTCInternationalTenderingCo.,Ltd.ShenzhenBranch 人民币开户银行：******深圳高新园北区支行 Bank（RMB）：IndustrialandCommercialBankofChinaLimitedShenzhenGaoxinParkNorthBranch 人民币帐号：******************* Account（RMB）：******************* 外币账户： 开户名称：****** Accountname：ChinaCNTCInternationalTenderingCorporation 外币(美元)开户银行：中国银行总行营业部 Bank（USD）：BankofChina,HeadOffice,BankingDepartment 外币(美元)帐号：A/C:************SWIFTCODE：BKCHCNBJ Account（USD）：************SWIFTCODE：BKCHCNBJ 外币(欧元)帐号：A/C:*************SWIFTCODE：BKCHCNBJ Account（EURO）：************SWIFTCODE：BKCHCNBJ *.*获取招标文件的方式 ***.******.***招标文件获取方式：本项目采用线上发售招标文件方式，有意购买标书的潜在投标人，请务必于招标文件获取截止时间前按以下步骤操作完成招标文件购买： （*）首次注册供应商：登录“中招联合招标采购平台（http://***.******.***.cn）”（以下简称“平台”），点击“供应商入口”进行免费注册； （*）已在平台注册过的潜在投标人，登录后点击“寻找商机”，进行项目名称查询，找到项目点击“我要参与”，投标人选中需要投标的包“加入购物车”； （*）在“我参与的项目”选择相应项目后的“购买招标文件”按钮，选择相应标包“去结算”并下单，招标文件售价***元人民币（本项目仅支持【网上支付】方式。平台交易服务费由******出具增值税电子普通发票。标书款、平台交易服务费一经收取不予退还）。 ***.******.***如有操作疑问请按以下方式与中招联合平台技术支持联系：客服电话：***-********、***-********（客服工作时间：周一至周五上午**时**分-**时**分，下午**时**分-**时**分） ***************************
