北京海淀北京市科学技术委员会纳米科技产业园建设项目三轴纳米微陀螺中试技术研究课题政府采购项目单一来源采购公告
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采购项目名称：北京市科学技术委员会纳米科技产业园建设项目三轴纳米微陀螺中试技术研究课题政府采购项目招标编号：CEIECZB**-**GL***采购人名称：水木智芯科技（北京）有限公司采购人地址：北京市海淀区中关村东路*号院*号楼CG**-**采购人联系方式：***-********采购代理机构全称：北京中******采购代理机构地址：北京市海淀区文慧园北路**号采购代理机构联系方式：********/**采购内容：*.本次采购的MEMS测试结构版图和技术服务包括设计规则检查，版图加工，工艺流片中重要参数的调整，目检，结构参数测试以及货物运输。*.本次采购的GYPRO陀螺仪为法国Tronics公司用于加工流片对比测试的陀螺仪管芯。*.本次采购的MEMS结构流片服务包括设计规则检查，版图加工，工艺流片，电性测试，结构参数测试，测试报告，加工完成的管芯和晶圆以及货物运输。*.本次采购的MEMS测试结构加工服务包括北京大学微电子实验室标准工艺流程，两片晶圆。*.本次采购的ASIC控制电路工艺流片服务包括设计规则检查，工艺流片，晶圆减薄，切割，电性参数测试以及货物运输.采购用途：自用采购标准和要求：一.*.微元时代的版图验证和版图加工服务完全匹配于北京大学微电子实验室的传感器标准工艺平台。*.微元时代提供的工艺参数调整对于流片环节中深硅刻蚀具有重要意义，保证了硅材料在深刻蚀之后的角度在**度正负*.*度，能够最大限度的减少耦合。*.微元时代提供的金属互联工艺使用三层结构，即粘附层，隔离层和金，能够在维持信号的稳定性的同时保证在Wirebonding中的安全性。*.微元时代提供结构目检，以及MEMS测试结构金属管壳封装测试，确保结构测试中的准确性。*.满足以上条件的MEMS测试结构加工服务机构只有北京微元时******。水木智芯科技（北京）有限公司拟向北京集成电路设计园以单一来源的方式采购。特此公示。二.Tronics公司的Megalan工艺平台专用对比测试陀螺仪，MEMS结构流片必备。水木智芯科技（北京）有限公司拟向法国Tronics公司，博年（ERA）公司代理以单一来源的方式采购。特此公示。三.*.Tronics公司的Megalan工艺平台能够提供真空度为**mtorr的硅-金封装工艺，保证频率的稳定性。*.Tronics公司的Megalen工艺平台提供的梳齿间距为*微米，上下基板的间距为***.******.***微米，SOI硅材料的厚度精度为正负*微米，能够提供电容变化量的准确检测。*.Tronics公司的Megalen工艺平台下基板和连接窗口使用的材质是金，确保了信号的准确性和传输速度。*.满足以上条件的MEMS结构加工机构只有法国的Tronics公司水木智芯科技（北京）有限公司拟向法国Tronics公司，博年（ERA）公司代理以单一来源的方式采购。特此公示。四.*.北京大学微电子实验室提供的标准工艺流程，是实现MEMS测试结构的必不可少的加工服务。*.北京大学微电子实验室提供的标准工艺流程，是完全匹配于北京微元时代MEMS测试结构版图和技术服务的平台，北京微元时代的版图和技术服务平台是完全建立在北京大学微电子实验室的标准工艺流程上的。*.北京大学微电子实验室提供的标准工艺流程，包括深硅刻蚀，硅玻璃键和，金属互联，光刻，蚀刻等工艺流程，能够完全满足我方的加工要求。*.满足以上条件的MEMS测试结构加工机构只有北京大学微电子实验室水木智芯科技（北京）有限公司拟向北京集成电路设计园以单一来源的方式采购。特此公示。五.*.中芯******提供的*.**微米数模混合平台完全适用于Ememory公司的****bitsOTP存储内核文件。*.中芯******是国内最大的ASIC电路加工服务商，工艺能力稳定，良率在国内是最高的。*.Ememory公司的****bitsOTP在中芯******的*.**微米数模混合平台上实现规模化量产，工艺稳定。*.Ememory公司的****bitsOTPIP是ASIC控制电路中必不可少的存储器内核。*.满足以上条件的ASIC控制电路工艺流片机构只有中芯******水木智芯科技（北京）有限公司拟向北京集成电路设计园以单一来源的方式采购。特此公示。本公示有效期为****年**月**日至****年**月*日，在此期间，有关单位和个人如对公示内容有异议，请在公示有效期内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式向北京中******反映。北京中******：联系人：郭亮、丁玲联系电话：********/*传真：********
