项目名称 高效镀膜设备用靶枪和电源 项目编号 XF-WSBX-******* 公示开始日期 ****-**-** **:**:** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额 联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 成交后**个工作日内 到货时间要求 成交后**个工作日内 预算 ￥***,*** 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 收货地址 玉泉校区微电子楼超净实验室*** 采购清单* 采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类 磁控溅射靶枪 否 * 台 电子工业生产设备 品牌 Kurt Lesker 规格型号 TMK*SFANC \t \t 预算\t \t ￥**,***\t \t 技术参数 五支溅射靶枪，靶材尺寸为*英寸圆形靶，厚度为*毫米至*.**毫米，磁吸式安装；磁极露在真空内，可便捷普通磁极和强磁极；靶头具有折弯功能，可调节角度±**°；配有气动紧凑式圆顶溅射源挡板，并且气动挡板执行机构在真空腔体内；靶枪最低工作压强可达*.*mTorr；靶头内部采用全金属密封，满足超高真空应用；电气连接接口为N型连接件-母型。 售后服务 服务网点:当地;电话支持:*x**小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; 采购清单* 采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类 自动电源靶枪切换器 否 * 台 电子工业生产设备 品牌 Kurt Lesker 规格型号 ********-* \t \t 预算\t \t ￥**,***\t \t 技术参数 一套靶枪-电源自动切换器，配置两个输入端口(同时输入直流和射频电源，并且同时输入时互不影响，射频通道带滤波功能)和四个输出端口，每个输出端口可兼容直流电源和射频电源的输出。输入和输出端口均为标准HN型或者UHF接口，带有DB**针通讯控制接口。 售后服务 服务网点:当地;电话支持:*x**小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; 采购清单* 采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类 磁控溅射直流电源 否 * 台 电子工业生产设备 品牌 Kurt Lesker 规格型号 PD***X* \t \t 预算\t \t ￥**,***\t \t 技术参数 一台功率***W的直流电源。电源外形高度不超过*.**英寸，最高电压不低于****V，最大输出电流不低于*A。功率系数 *.**，打弧检测时间＜*** nsecs，显示精度：满量程的+/- *%；外形具有标准机柜安装尺寸，**英寸X**.**英寸X*.**英寸。 售后服务 服务网点:当地;电话支持:*x**小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; 采购清单* 采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类 磁控溅射射频电源 否 * 台 电子工业生产设备 品牌 Kurt Lesker 规格型号 RF**A**XX*** \t \t 预算\t \t ￥**,***\t \t 技术参数 一台功率为***W的RF电源，带有自动匹配器和控制器。射频频率为**.**MHz。射频电源输出功率的精度优于满量程的+/-*%或者读数的+/-*%，电源长时间输出稳定性优于+/-*.*%。输出接头N型，风冷冷却；射频电源为半个**英寸电控柜安装尺寸，带有标准**英寸电控柜安装配件，可以和控制器并排安装到标准电控柜内。外形尺寸Network *英寸HX*英寸WX**英寸D；Controller外形尺寸*.*英寸HX*.*英寸WX**.*英寸D;Generator外形*.**英寸HX*.*英寸WX**.**英寸D。 售后服务 服务网点:当地;电话支持:*x**小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; 浙江大学 ****-**-** **:**:**