广东深圳半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购
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采购状态?б???????采购计划信息申报计划月份：****年*月份计划编号：JH*********申报部门：集成电路学院填表人：***填表时间：****-**-**采购项目信息采购项目(品目)名称：半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购采购类型：招标采购预算：*,***,***.**元采购方式：公开招标(政府采购)联系人：***联系电话：***备注：招标设备 招标设备信息招标设备信息设备名称类别单价(元)数量需求时间二更-洁净室衣柜-二次配系统实验室设备****.***套****-**-**化学品暂存间-大化学品柜-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**工艺辅房*-化学品管理系统-二次配系统实验室设备****.***套****-**-**湿法-清洗系统 （双槽，去胶）-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**刻蚀-Haasrode Avior-二次配系统实验室设备******.***套****-**-**刻蚀-Scrubber**-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**湿法-单片清洗系统-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**二更-洗手台-二次配系统实验室设备****.***套****-**-**镀膜-FS***-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**镀膜-Shale T-二次配系统实验室设备******.***套****-**-**镀膜-FS***-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**刻蚀-等离子清洗机-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**刻蚀-MPR-*-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**本科-H**-**C-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**湿法-甩干机-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**本科-VZZ-***-二次配系统实验室设备****.***套****-**-**毒腐气体间-Scrubber**-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**工艺辅房*-冰箱-二次配系统实验室设备****.***套****-**-**湿法-通风柜（普通）-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**化学品暂存间-化学品管理系统-二次配系统实验室设备****.***套****-**-**光刻-金相显微镜-二次配系统实验室设备****.***套****-**-**湿法-清洗系统(四槽)-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**本科-H**-**C-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**工艺辅房*-小化学品柜-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**镀膜-Shale A-二次配系统实验室设备******.***套****-**-**刻蚀-OLYMPUS-二次配系统实验室设备****.***套****-**-**本科-黄光间通风橱-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**本科-H**-**C-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**本科-青岛金立盾氧化扩散炉-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**镀膜-Scrubber**-二次配系统实验室设备*****.***套****-**-**采购(招标)委托委托编号：WT**********经费项目名称：智能伺服电机基础理论与原型器件研制，面向行业领域应用的智能检测关键技术,经费来源：发展规划处、学科建设办公室、高等教育研究所,支出科目代码：***********，***********,设备用途：教学委托经办人：***联系电话：***方案附件：***招标项目信息半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目招标编号：GDUTBC*******招标采购申请时间：****-**-**招标采购方式：公开招标(政府采购)总预算（元）：*,***,***.**招标代理机构：****** 收到初稿时间：****-**-**招标文件审核时间：****-**-**招标公告时间：****-**-**开标时间：****-**-**招标执行信息：*委托申请*招标采购申请*招标文件制作*招标文件审核*招标公告*招标结果公告*中标通知*已签合同*已供货**已验收**已付款预算（元）：*,***,***.**招标结果：招标成功招标结果时间：****-**-**投标供应商：*********
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