项目名称 原子层沉积系统 项目编号 XF-WSBX-******* 公示开始日期 ****-**-** **:**:** 公示截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额 联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 成交后**个工作日内 到货时间要求 成交后**个工作日内 预算 ￥***,*** 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 收货地址 浙江大学紫金港校区开物苑*幢负一层地下实验室 采购清单* 采购物品 是否允许进口 采购数量 计量单位 所属分类 原子层沉积系统 否 * 台 电子工业生产设备 品牌 迈纳德 规格型号 MNT-S***Oz-L* \t \t 预算\t \t ￥***,***\t \t 技术参数 *\t配置及组成*)\t*套热型原子层沉积系统主机*)\t*套*寸反应腔*)\t*套常温液源输送系统*)\t*套加热源管路*)\t*套臭氧源系统*)\t*套真空系统*)\t*套备品备件*\t设备主机规格*)\t适用于*英寸以及小尺寸样品薄膜沉积*)\t设备本底真空优于* Pa，设备漏率≤ *×**-** Pa·m*/s；*)\t控制方式：PLC+触摸屏*)\t多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式*\t反应腔系统：*)\t反应腔材质为***L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；*)\t密封方式：采用燕尾槽密封并配备耐腐蚀密封圈；*)\t样品台尺寸：标准*英寸腔体，直径为*** mm；*)\t样品台加热温度最高可达***℃，采用PID控制方式，控制精度为±*℃；*)\t反应腔配备自动充气及过压保护功能；*\t前驱体源输送系统*)\t常温源*路，加热液源*路；*)\t前驱体输送管路加热温度范围RT-***℃，控制精度±*℃；*)\t常温源：配备三孔ALD阀门、源手动阀、不锈钢源瓶(** mL)；*)\t加热源：配备三孔ALD阀门、源手动阀、不锈钢源瓶(** mL)，源瓶温度范围RT-***℃；*)\t管路及接头均采用*** EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N*或者Ar气体，通过MFC控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数。*\t臭氧源系统（和水共用*路）*)\t配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC(量程*-*** sccm)；*)\t臭氧发生器产量可达** g/h，浓度可达***g/m*；*)\t臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于*********** mm。*\t真空系统：*)\t真空泵采用双级油封式真空泵，抽速不低于** m*/h；*)\t真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：****-*-****mbar；*)\t真空抽气管道可以烘烤至***℃，且真空泵前级配置热阱，温度范围RT-*** oC，控制精度±*℃；*\t控制系统*）\t采用高稳定性的PLC+工业触摸屏方式；触摸屏尺寸不小于**.*英寸； *）\tPLC采用工业以太网控制方式，支持灵活扩展DeviceNet、CANopen、PROFIBUS DP等通信方式；*）\t系统可实现配方编辑、保存、读取等功能；ALD阀门及管路具备自动排空和清洗功能；*）\t系统设有高级界面，可进行温度PID参数自整定、前驱体标签修改等；*）\t系统可实时监测动力气体压力值、系统压力值、加热状态、阀门开关状态和镀膜进度，当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看；*\t验收指标：厂家须提供氧化铝薄膜的标准工艺配方，前驱体为三甲基铝+水，按以下内容进行现场制备与验收：薄膜均匀性：在*英寸晶圆上沉积***cycle氧化铝，以晶圆上*个均匀分散点（上、下、左、右、中心*点，边缘*mm除外）进行椭偏仪测试膜厚， *英寸晶圆上薄膜不均匀性≤*%。 售后服务 电话支持:*x**小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; 浙江大学 ****-**-** **:**:**