四川成都离子辅助薄膜改性系统招标
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招标公告 根据《中华人民共和国招标投标法》等有关法律、法规的规定，本招标项目有关设备（下称招标设备）已具备招标条件，向社会进行公开招开。现就相关情况做如下公告。 *. 项目概况与招标内容 *.* 招标编号： CDSB******* *.* 项目名称：离子辅助薄膜改性系统 *.* 项目内容： 设备名称 数量 技术指标 离子辅助薄膜改性系统 * * 设备名称：离子辅助薄膜改性系统 * 功能要求： *.* 高能气体离子注入：在样品表面注入N、Ar、H等气体离子； *.* 高能金属离子注入：在样品表面注入Ti、Cu、Al等金属离子； *.* 高能气体、金属离子混合注入：在样品表面同时注入气体和金属离子； * 设备配置： *.* 真空室： ***.******.*** 柱形***不锈钢真空室; ***.******.*** 内腔尺寸 ? *** ? ***mm ； ***.******.*** 立式安装、侧开门结构。 *.* 抽气系统：由分子泵、直连泵、气动高真空阀门、插板阀等、不锈钢管道等组成 *.* 离子源系统:高能气体离子源及电源一套、高能金属离子源及电源一套。 *.* 真空测量：数显复合真空计*台，并配备金属高低真规各*个。 *.* 样品台：加热样品台一套，最高温度*** ° C ，靶面直径***mm，靶面有安装螺孔便于样品定位，可电动自转（转速可调），样品台可升降（最大**mm）。。 *.* 供气系统：为高能气体离子源配备了*套质量流量计+管道+钢瓶+阀，流量控制范围：* ～ ** sccm 。质量流量计与离子源之间配备高真空截止阀。 *.* 电源及控制系统：标准机柜，全手动控制，带流程和状态显示。 *.* 真空室前门上有一个铅玻璃观察窗，并配有磁力转动观察挡板。 *.* 真空室内安装有低压照明灯。 *.** 在腔室中部预留其他标准快装及备用接口。 *. 技术参数 *.* 真空系统： ***.******.*** 腔室极限真空度：优于*×**-*Pa ***.******.*** 腔室充干燥氮气后，能在**分钟内从大气压抽真空到*×**-*Pa ***.******.*** 抽到极限真空后，关机**小时，腔室真空度优于*Pa。 *.* 高能气体离子源： ***.******.*** 加速电压**-**kV ***.******.*** 束斑直径***mm； ***.******.*** 在***mm束斑直径范围内离子流可达*mA。 *.* 高能金属离子源 ***.******.*** 加速电压**-**kV ***.******.*** 束斑直径***mm ***.******.*** 在***mm束斑直径范围内离子流可达*mA ***.******.*** 具有阴极动推进功能 ***.******.*** 具有注入剂量检测和控制 ***.******.*** 可精确控制注入时间（秒量级）。 *.* 离子束流在束斑范围内均匀性好，不均匀性小于±**％。 *.* 离子源可连续稳定运行时间大于*小时 *.* 金属源阴极寿命大于**小时。 *. * 标书格式及要求： 见招标文件 *.* 本项目不分包， 本项目不允许联合投标。 *. 投标人资格要求 * 、在中国境内注册并具有独立法人资格的合法企业；注册资金不低于 *** 万元。 * 、 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； * 、具有履行合同所必须的设备和专业技术能力； * 、具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； * 、参加本次采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法违规记录； *. 招标文件的获取 *.* 凡有意参加投标者，请于 **** 年 ** 月 ** 日至 **** 年 ** 月 ** 日上午 * 时至 ** 时，下午 ** 时至 ** 时（北京时间，法定节假日除外，下同），在成都市一环路南一段二十号四川大学明德楼（原行政楼）***B室持公司营业执照复印件加盖公章、 单位介绍信 (见附件)加盖公章前来报名。外地投标商需在****年**月**日 ** 时（北京时间，下同）前将购买标书的费用转入四川大学账号，并将转账凭证（附上接收发票地址）、公司营业执照、 单位介绍信 （见附件）等传真或发邮箱至四川大学设备处，凭此报名。传真号码：***-******** 邮箱地址：****** *.* 招标文件每套售价 *** 元，售后不退。 *.* 本次招标公告同时在四川大学设备处网http://***.******.***.cn/上发布。 *. 投标文件的递交 *.* 投标文件递交的时间为： **** 年 ** 月 ** 日 ** 时，递交投标文件的截止时间（投标截止时间，下同）为 **** 年 ** 月 ** 日 ** 时，地点为成都市一环路南一段二十四号四川大学明德楼（原行政楼）***B室。 *.* 逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。 *. 开标时间及地点 *.* 开标时间一般为标书递交的截止时间，如有变化，另行通知。开标地点一般为标书递交地址，如有变换，另行通知， 开标时 请参与投标方准时派员出席，每一投标单位限*名以内代表参加(外地厂商可不出席)。开标前，允许各投标人有五分钟的口头补充表述(也可以放弃)。 *. 联系方式 招 标 人：四川大学 地 址：成都市一环路南一段二十四号 联 系 人： 黄老师 曾老师 邮 编： ****** 电 话： ***-******** 传 真： ***-******** 户 名：四川大学 开户银行：工行芷泉支行四川大学分理处 账 号：*******************
