湖北武汉武汉大学原子层沉积系统设备招标公告
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（开标时间**** 年*月**日） 根据国家采购与招投标法律法规的有关规定，武汉大学对原子层沉积系统设备进行公开招标，欢迎具备相应资质和实力的供应商参加投标。现将有关事项公告如下：一、招标范围：原子层沉积系统（主要技术指标：见附件）二、供应商资格要求投标人必须是中国境内注册的独立法人,不能是法人联合体。三、获取招标文件的时间、地点*、获取招标文件时间： ****年*月*日至 **** 年*月*日上午*:**－**:**,下午*:**－*:**(北京时间,节假日除外)； 外地可信箱my_foot@***.com报名（公司名称，所投项目名称，联系人及电话等）*、获取招标文件地点：武汉大学采购与招投标管理中心 *** 室；四、投标截止时间、开标时间及地点*、递交投标文件时间： ****年*月**日上午*:**至*:** (北京时间)*、投标截止及开标时间： **** 年*月**日上午*:** (北京时间)*、投标、开标地点：武汉大学采购与招投标管理中心五、采购人、联系人、技术负责人等。采购人名称：武汉大学采购联系人： 张伟 陈阜新 联系电话：******** 采购项目技术负责人：管志强 联系电话：***********武汉大学采购与招投标管理中心****- * - **附件原子层沉积系统技术要求产品名称： 原子层沉积系统套数：一套一．设备组成：*．最大* 英寸基片的原子层沉积系统，包括* 路前驱体源(水，锌源，铝源)*．电控系统：沉积自动控制系统*．操作软件：沉积程序控制软件，具有自动操作和手动检修功能*．真空机械泵与相关管路二．设备用途：制做氧化铝，氧化锌，氧化锌掺铝纳米薄膜。技术参数：反应腔系统：基底台直径≥*英寸（*** mm），腔高度≥** mm。可以生长*英寸样品。基底加热温度室温至***℃可控，控制精度±*℃。腔室本底真空* Pa沉积模式：适用于不同基片（平面基片、高纵深比样品）上薄膜的制备。包括以下两种工作模式：高速沉积的连续模式，沉积超高宽深比结构的停流模式。配备专用样品夹具及粉末承载装置。前驱体源：共*路常温源（水源，铝源和锌源），AlD阀门采用Swagelok阀，阀最小开关时间不大于** 毫秒。源瓶采用标准VCR接口通用源瓶。容器：**毫升 Swagelok钢瓶。预留*路常温源和*路加热源接口。前驱体源输运系统：所有前驱体管路全部采用Swagelok ***LSS EP level不锈钢级管路，所有管路加热温度室温至***℃可控，控制精度±*℃。管路具有高密封性、耐高温耐腐蚀。管路有自清洗模式，避免反应物残留。管路载气为氮气，须配备质量流量计，流量控制*-**sccm，流量控制精度≤±*%。真空系统：具有断电保护功能，含气体稳定控制器，由计算机控制。配备数字式宽范围真空规，测量范围**E-* Torr~**E+* Torr。真空机械泵系统要求国外知名品牌产品，抽速** 立方米每小时。排气管路：排气管路加热温度室温至***℃可控；配置截止阀一个，加热温度室温至***℃可控。控制硬件：PLC+工控机或者Labview+工控机的控制系统，硬件控制系统须具备* 毫秒 前驱体脉冲时间的精确分辨控制能力，每一前驱体脉冲时间所对应的压强值必须能重复在同一个水平上，保证进入反应腔的前驱体的量精确可控。控制软件：专用的控制软件, 可以全自动控制加热、流量、等全部沉积过程，也可以手动调节沉积条件和工艺参数，以及温度、压强等实时监控。全部沉积过程(开始到结束)的参数实时全部记录，都可以事后回放，每个脉冲曲线都可以显示回放。可以自动保存工艺方案并导出数据。外设连接配件：从气体阀门开始，气体管路均需采用洁净不锈钢金属软管连接至设备；含安装包及备件*套。安全措施：须具备急停按钮用于应对紧急情况, 一键设备停止运行，防止ALD阀门同时打开引起的管路污染和剧烈的化学反应危害。控制软件具有保护功能, 防止加热元件超温度范围使用所导致的安全问题。密封系统防止有害前驱体泄露, 同时防止大气的渗入。腔体内有过压保护设置, 腔体内压力超过设定阈值ALD阀门自动关闭，防止腔体内前驱体的外泄。验收指标：**.* 厂家须提供氧化铝薄膜的标准工艺配方，前驱体为三甲基铝 +水，按以下内容进行现场制备与验收：薄膜均匀性：在*英寸晶圆上沉积**nm厚氧化铝，以晶圆上*个均匀分散点（上、下、左、右、中心*点，每两点间距不小于**毫米）进行椭偏仪测试膜厚，要求氧化铝膜厚偏差 ≤*.*nm。沉积速率：沉积氧化铝要求生长温度***℃、***℃、***℃、***℃时分别对应的单次循环时间须低于**秒、**秒、**秒、*秒。每次循环生长厚度约***.******.***。生长温度***℃时沉积**nm氧化铝总时间不超过*小时。**.*厂家须提供氧化锌薄膜的标准工艺配方，前驱体为二乙基锌+水，按以下内容进行现场制备与验收：薄膜均匀性：在*英寸晶圆上沉积***nm厚氧化锌薄膜，以晶圆上*个均匀分散点（上、下、左、右、中心*点，每两点间距不小于**毫米）进行椭偏仪测试膜厚，要求氧化锌膜厚偏差 ≤*nm。沉积速率：沉积氧化锌薄膜要求生长温度***℃、***℃时分别对应的单次循环时间须低于**秒、**秒。每次循环生长厚度约***.******.*** nm。当生长温度为***℃时，沉积*** nm 氧化锌薄膜总时间不超过*小时。四．其他伴随服务随设备提供高纯度铝源和锌源前驱体各**克，并灌装在相应的前驱体源瓶中，用户可直接使用。备用配件一套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、使用手册、说明书、维修手册，标准工艺等各*套。五．安装培训厂家工程师现场安装培训，包括操作，维护及安全使用等。六．售后服务一年免费保修，自验收之日起。提供完善的技术支持与售后服务，在接到买方报修通知后*小时内给予答复，**小时内能够到达现场提供服务。保修期外的维修不收人工费，更换部件只收成本费
