上海招标书14149--电子束蒸发镀膜系统
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各公司、厂商： 上海理工大学理学院拟购置电子束蒸发镀膜系统一台，现网上公开采购信息，欢迎投标！ 一、设备技术要求： 设备主要用于量子器件微加工，要满足以下功能。 *.* 系统真空： ***.******.*** 真空室极限真空度≤*E-*Pa ***.******.*** 恢复工作时间：真空室内测量的工作压力从*E*Pa至*E-*Pa≤**min ***.******.*** 真空漏率：保压**小时，真空≤*Pa； *.* 真空系统控制： ***.******.*** 配置数显复合真空计显示高低真空数值； ***.******.*** 操作系统实现互锁保护，分子泵有断水、断相报警功能； *.* 蒸发源： ***.******.*** 电子枪：e型磁偏转***°电子枪，单枪单电源，功率：*KW；加速电压：*kv、**kv两档可切换，束流：*～*.*A可调，Y方向偏转，X、Y方向扫描，配手持控制盒；四穴坩埚，每个容积**ml，电动换位，面板有位置显示。 ***.******.*** 电阻热蒸发：功率*.*kw，*组水冷电极（交替蒸发），配手持控制盒； *.* 配石英晶振膜厚仪（含一个水冷探头）； *.* 工件台、烘烤： ***.******.*** 真空室工作尺寸：***x***x***（宽x深x高）mm，全不锈钢箱体，配有防污染不锈钢屏蔽板；真空室门上有一个观察窗，可观察电子枪工作状态，配用暗色玻璃，符合X射线防护国家标准。 ***.******.*** 工件盘直径Φ***，转速连续可调。 ***.******.*** 工件盘可加热，数显温控仪控温，最高温度***℃ 二、主要技术性能指标 *.* 系统结构原理 该系统为单真空室配置，真空室尺寸***×***×***mm（根据设计需要适当调整），腔体采用***不锈钢加工而成，内表面抛光，外表面喷丸处理。采用U 型箱体活开门结构，壁挂防污板，抽气口后置，门上配备玻璃观察窗（含防污染挡板），观察窗由三层玻璃组合而成，第一层为保护玻璃，脏时可随时取下清洗，装卡方便；第二层为硬质玻璃，起到密封作用；第三层铅玻璃防止射线对人身产生危害，外面安装防强光保护玻璃，方便观察电阻蒸发时的工作情况。考虑到系统拓展需要，预留所需法兰接口。 电子枪及水冷蒸发电极安装在真空底板上。采用磁流体密封，电子枪选用功率为*KW、四工位水冷坩埚E型电子枪。 基片架通过齿轮来传动，转速连续可调，加热盘和加热盘可以轴向移动，方便工件装夹的同时实现蒸距***-*** mm可调，工件盘直径为Φ***mm。工件盘在步进电机以及磁流体带动下可连续回转，转速连续可调（步进电机控制）。效果图如下所示： 此外工件盘直径为Φ***mm的基片架必须可全部均匀加热 ，最高加热温度：***±*℃，铠装电热丝加热，由热电偶闭环反馈控制（日本导电温控仪PID控制）。 *.* 真空获得原理 真空获得系统采用分子泵+机械泵机组来实现：利用FF***-****C(科仪）复合分子泵作为主泵，机械旋片泵作为预抽+前级泵对真空室抽气（见图*）。 图*气路原理图 真空度控制通过和主泵相连的插板阀来实现，各种阀门均采用超高真空阀门辅以金属密封。 三、沉积系统 *.* 电子枪 设备配套电子枪的要求： * ）与焦耳电子枪性能相当。 * ）能量分布均匀，束斑小，垂直入射，电子枪不挖坑，基本上平面整体蒸发，光斑直径￠*-￠**可调，扫描方式方形、圆环、圆面可设，并可记忆**位坩埚扫描频率、幅度大小、扫描方式及斑点位置。对操作者依赖性减少，使产品的重复性得到比较大的改善。 * ） X Y频率高，能高速扫描，**---***HZ。 * ）各单元为分体式方便维修和检查。 扫描电源要求： * ）采用先进技术智能手操器，通过串行总线I*C与扫描主机连接，运行须安全可靠；能控制束斑束流 坩埚 挡板等。 * ）能与计算机通讯，并有RS***（或RS***）通讯接口，对镀膜设备实现自动控制起到重要作用。 * ）束斑位置记忆，在人工模式下能对束斑位置及大小，频率 波形模式 **位坩埚记忆功能。 * ）环行面积密度可选择*---**条，X方向的上下电流可设置，从而保护光斑不打到坩埚上面。 * ）偏磁方式：改进型永久磁铁减少扎坑现象，可以使电子束以垂直角度入射蒸镀膜料，及增加蒸发膜料的使用面积，并使膜料更加均匀的蒸发。 高压要求： * ）单独的高压柜，采用日本焦耳电源控制方式，保证安全可靠。 * ）电源仪器可用于**HZ **HZ的电源；采用移相触发器控制方式，适用于阻性 感性负载，变压器一侧。 * ）控制装置有过流 过热 SCR保护功能，具有软启动 软关断功能，减少对电网的冲击干扰。 * ） 高压具有恒流恒压功能，在空载与加负载时功率不变，对镀膜起非常重要作用。 *.* 水冷电极 设备采用*对水冷式蒸发电极，电极结构示意图如下所示： *.* 预留接口 为拓展真空室功能，可以按照使用方的要求预留各种接口法兰。 四、 复合镀膜系统主要参数要求 *.* 极限真空为****-*Pa，短暂暴露大气候**分钟内可抽到****-*Pa；保压时间为**小时后优于*Pa。 *.* 真空室尺寸***×***×***mm，腔体采用优质***不锈钢加工而成，配有防污染不锈钢屏蔽板，U 型箱体活开门。 *.* 工件盘直径为Φ***；基片最高可加热温度为***±*℃,可连续回转，转速连续可调，蒸距***-***mm可调。 *.* 配数显复合真空计显示高低真空数值，操作系统实现互锁保护，分子泵有断水断相报警功能。 *.* 电阻蒸发：*对水冷蒸发电极交替蒸发，功率*.*kw，*套控制电源，可相互切换，配有手持控制盒。 *.* 电子枪：e型磁偏转***°电子枪，单枪单电源，功率：*KW；加速电压：*kv、**kv两档可切换，束流：*～*.*A可调，Y方向偏转，X、Y方向扫描，配手持控制盒；四穴坩埚，每个容积**ml，电动换位，面板有位置显示。 *.* 抽气系统：采用中科科仪FF***-****C复合分子泵、RVP****机械泵以及阀门组成真空抽气系统， 五、 多功能系统主要配置 根据上述技术要求，系统实际配置如下。 表一、多功能系统配置及报价表 项目 单位 数量 规格 备注 真空室组件 真空室 只 * ***x***X***mm 尺寸会适当调整，侧开门结构，外壁不锈钢水冷槽 基片架 套 * 步进电机配合磁力转盘驱动；可轴向升降调整蒸距 插板阀 只 * CF*** 用于真空室和主泵之间连接（气动插板阀） 分子泵 台 * FF***-****C 沉积室主泵 机械泵 台 * RVP**** 预抽+前级 挡板阀 只 * CF** 预抽管道通断（气动） 截止阀 只 * SJ*R-S*G** 用于控制气体通断 照明装置 套 * 含陶封电极与电源 加热装置 套 * 铠装电热丝，含陶封电极 各型法兰及观察窗 批 DN** 、**、**、***、***、*** 不锈钢管路、管接头 批 * 各种精密不锈钢管、波纹管、管接头 电磁截止阀 只 * DN** 电磁放气阀 只 * DN** 真空测量 数显复合真空计 台 * NYGF- Ⅱ 规管 套 * ZJ**ZJ** 全部为CF**金属规管 蒸发装置 电子枪 套 * 四工位水冷坩埚 配*KW电源 蒸发电极 组 * 水冷蒸发电极、含切换 蒸发电源 个 * *.*KW 可相互切换，蒸发电流数显 电气控制柜 套 * 设备机架 套 * 不锈钢拉丝面板 加热温控电源 套 * 日本导电PID控制 标准件、配件、附件 套 * 其 他 膜厚仪 套 * FTM-V 质量流量控制器 台 * D**-*B 量程***sccm 质量流量显示仪 台 * D**-*E 两路显示 备件 批 * 不锈钢紧固螺栓、螺母、垫片等*套 产品相关的金属密封铜圈及氟橡胶密封圈*套 电子枪灯丝**只坩埚 *套 空气压缩机 台 * 耗材 批 * 金丝，银丝 铝 钨舟钨绞丝 六、培训 *.* 培训时间：*周，人数： *-*人； *.* 培训内容： * ） 了解多功能系统的工作原理、组成及各组成部分的使用方法； * ） 熟练掌握整机系统及各零部件的操作使用方法； * ） 了解并掌握设备一般故障的诊断方法，并能进行日常维护。 七、设备相关技术资料 *) 设备操作、维护手册（*本）； *) 全套外购部件的使用、维护说明书（*套）； *) 设备结构原理图及关键部件结构图（*套）； *) 电控系统原理图（*套）； *) 装箱单（*套）； *) 合格检验证明（一套）。 八、其他 技术负责人：王老师电话：*********** 投标截止时间：****年*月**日上午**:**（标书请密封盖章并注明标号） 标书请寄：上海市军工路***号上海理工大学公共服务中心***室设备科(******) 联系电话（传真）：******** 联 系 人：缪老师 上海理工大学设备招标领导小组
