广东中山广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院去胶机设备单一来源采购公示
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广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院（以下简称“国际联合研究院”）拟采用单一来源方式进行去胶机设备采购，经初步市场调查，该项目属于《中华人民共和国政府采购法》第三十一条规定“只能从唯一供应商处采购的”情形。现按规定进行单一来源公示，供应商如有意见请在公示期内以书面形式反馈。同时邀请能够提供满足本项目采购需求且符合资格条件的其他供应商前来报名登记。一、公示时间：****年**月**日至****年**月**日**:**时截止。二、拟定采购供应商：江苏******三、申请单一来源采购方式的理由：随着国际联合研究院科研与教学工作的进展，我院决定采购一台去胶机来完成微加工步骤中的光刻胶去除工作。由于在去胶过程中，我们要求去胶机能够达到*.* μ/min的去胶速度，以避免由于去胶时间过长而导致样品发热损坏。在去胶速度方面，德国Alpha Plasma的Q***去胶机最快去胶速度能够达到*.* μ/min，目前市面上也只有德国AlphaPlasma的Q***去胶机具有此去胶速度。因此我们申请对去胶机设备采用单一来源采购方式，从Alpha Plasma在国内针对此项目的直接授权经销商江苏******处采购。四、采购项目需求：（一）采购项目名称：去胶机设备（二）项目内容：*.项目清单：序号型号描述数量*Q***德国Alpha plasma 微波等离子去胶机主机，包含两路工艺气体：氧气和氩气*台*RVP-** vacuum bumpOerlikon Leybold真空泵，装有PFPE油，带有油雾分离器*个*RVP-DN**-***真空系统配件：一米气体软管，及转接头和连接件各两个*套*Q***—SW系统控制软件：软件光盘*个*Q***-Doc英文技术资料：a.安全须知b.操作手册c.电图d.保养计划表e.耗材表*套*.配置详细描述：产品型号性能描述数量Q***★*.**G微波发生器产生高密度等离子，采用化学方法去除光刻胶；★微波等离子体产生方式的自偏压基本为零，对wafer不产生轰击，对wafer，chip不会造成伤害；去胶过程中是自终止的；去胶干净彻底；工艺气体：氧气；★去胶速度*.** μ/min. – *.* μ/min（随装载量和光刻胶类型及条件而不同）；腔室大小：*升，直径***mm，深***mm；所处理样片尺寸：*”及以下；真空泵：D ** Oerlikon Leybold Vacuum，抽速** m*/h；微波源：功率***－***W，*.**GHz，自动耦合；软件全自动控制：*" 显示屏，触摸屏操作方式；基于Windows®操作系统的触摸屏界面提供全自动的控制，图表化用户界面设计，操作简单，好学易用；有USB接口，方便数据调取；可远程控制，可与Window office兼容；用户密码保护设置；工艺数据可存储，工艺参数可输出；实时以图表化的形式监测工艺过程及各项数据；自动或人工操作均可实现。*五、供应商资格条件：*.供应商需满足《政府采购法》第二十二条规定的条件，且具备独立法人资格。*.供货商如非所报设备的制造商，必须由制造商在国内针对此项目的直接授权经销商。*.本项目不接受联合体参加报价。六、报名联系方式*.联系人：郑先生*.电话：****-*********.传真：****-*********.地址：广东省佛山市顺德区大良街道办南国东路*号广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院****年**月**日
