湖北武汉武汉大学双面掩膜对准紫外曝光机招标公告（开标时间2015年1月7日）
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根据国家采购与招投标法律法规的有关规定，武汉大学对双面掩膜对准紫外曝光机设备进行公开招标，欢迎具备相应资质和实力的供应商参加投标。现将有关事项公告如下：一、招标范围： 双面掩膜对准紫外曝光机（主要技术指标：见附件）二、供应商资格要求投标人必须是中国境内注册的独立法人,不能是法人联合体。三、获取招标文件的时间、地点*、获取招标文件时间： ****年**月**日至 **** 年*月*日上午*:**－**:**,下午*:**－*:**(北京时间,节假日除外)； 外地可信箱my_foot@***.com报名（公司名称，所投项目名称，联系人及电话等）*、获取招标文件地点：武汉大学采购与招投标管理中心 *** 室；四、投标截止时间、开标时间及地点*、递交投标文件时间： ****年*月*日上午*:**至*:** (北京时间)*、投标截止及开标时间： **** 年*月*日上午*:** (北京时间)*、投标、开标地点：武汉大学采购与招投标管理中心五、采购人、联系人、技术负责人等。采购人名称：武汉大学采购联系人：张伟 陈阜新 联系电话：******** 采购项目技术负责人：管志强 联系电话：***********武汉大学采购与招投标管理中心****- ** -** 附件 双面掩膜对准紫外曝光机技术参数* 设备要求及主要规格参数：*.* 光刻线条分辨率：对于*微米厚的光刻胶，分辨率*.*微米，设备验收时须完成实际工艺验收。*.* 曝光模式：应支持软接触、硬接触、真空接触曝光模式；*.* 光源：*** W或以上近紫外光源，波长范围***nm-***nm*.* 光强稳定性：开机后**分钟内光路系统达到稳定状态；*.* 光源尺寸：适用最大直径*英寸晶圆的曝光工艺；*.* 光强控制：***/***nm波长处光强可调；*** nm 波段最大输出不小于：** mW/cm*，设备验收须完成实际测量验收*.* 光源均匀性：*英寸直径面积内±*%；设备验收须完成实际*点测量验收*.* 曝光时间：*.*~***.*s连续可调，最小调节尺度*.*s；*.* 找平方式：三点式自动找平。*.** 正面和反面对准系统均配备双视场对准系统（显微镜或CCD方式），正面总放大倍数范围**至***倍，正面双视场间距范围**毫米至***毫米，视场扫描范围：X±**mm，Y±**mm。背面总放大倍数不小于***倍，背面双视场间距范围**毫米至**毫米。*.** 正面对准精度不差于*微米。*.** 承片台X轴移动范围不小于±*毫米，Y轴移动范围不小于±*毫米；转动角度范围不小于±*°。*.** 背面对准具备图像抓取、图像存储等处理功能。背面对准精度不差于*微米。*.** 可处理**mm碎片至*英寸晶圆的曝光。***.******.*** 正面承片夹具包含**mm碎片、*英寸、*英寸、*英寸基片夹具各一个。***.******.*** 背面承片夹具包含**mm碎片、*英寸、*英寸、*英寸基片夹具各一个。可与正面承片夹具合并。***.******.*** 掩膜版装载夹具：*x*英寸，*x*英寸，*x*英寸掩模版装载夹具各*个。*.** 须支持***um SU*厚胶曝光工艺，曝光底部无残胶，侧壁陡直度好于**°，设备验收须完成实际工艺验收。*.** 配备备品备件包，包括备用汞灯、光强计、真空泵等配件。*.** 需要提供该品牌在国内销售的用户列表及联系方式，不少于*家，包括用户名称、购置时间、型号等信息。* 附件相关要求供应商需要列出下列各项清单：*.* 设备标准配置（单独报价，计入投标总价）；*.* 随机标准附件（单独报价，计入投标总价）；*.* 设备操作和维修专用工具（单独报价，计入投标总价）；*.* 设备必备的易损件（包括备用汞灯，单独报价，计入投标总价）；*.* 提供必要的技术资料*.* 提供安装、运行、维修、检修所需的详尽图纸和技术文件（电气原理图、全套电路图和各类说明书等）；*.* 设备组装、安装要求、主要部件清单；*.* 设备操作手册、维修手册、入场保养手册、设备外购件使用维修说明及制造厂家、厂址及订货号；*.* 设备出厂检验标准；* 服务及售后要求*.* 卖方负责设备的安装、调试、检测。*.* 卖方负责对买方的操作人员、维修人员进行技术培训（包括操作、日常保养、维护、设备各部位功能介绍、线路分析等答疑）。安装调试完毕后现场培训不得少于*个工作日。*.* 安装、调试、检验、培训费用分项报价并计入投标总价。*.* 质量保证期（保修期）：为期**个月，从设备验收合格、双方签字生效之日起计算。对在质保期内出现故障的零部件应予以更换，对更换或维修过的零部件从更换或维修完成之日起重新计算**个月的质保期。质保期后两年内重复出现过的质保期曾出现过的出于设备本身原因产生的故障仍属质保期范围，对更换或维修的零部件从更换或维修完成之日起，也重新计算**个月的保证期。服务应及时有效。在接到用户故障信息后，**小时内做出响应，*个工作日到达现场，**个工作日内排除故障。在质保期内出现的故障，经保修后，此部分应重新计算**个月的质保期*.* 设备质保期过后，要求能终身提供广泛优惠的技术服务，接受咨询及设备备件的供应。*.* 卖方有责任提供在买方的设备使用地区指定的代理人或卖方办事机构的维修服务资料，该资料内应包括这些机构的联络方式、地址、维修范围和维修能力的说明等。武汉地区设有办事机构者优先。*.* 设备在合同规定的质保期内，因制造质量问题而发生损坏，或不能进行正常工作时，卖方应免费为买方修理或更换零件。*.* 终身工艺应用的在线支持，用户提供使用的试剂名称，浓度，基片尺寸，膜层厚度等信息，** 小时内可获得卖方工艺工程师的应用支持响应。数量一套
